Técnica de caracterización AES

Introduccion

Los rayos X se definen como una radiación electromagnética de longitud de onda corta.(10-5 A -100ª). Sin embargo la espectroscopia de rayos X convencional abarca la región de aproximadamente 0,1 A a 25 A.

Cuando una radiación X o un chorro de electrones interacciona con la materia se producen una serie de procesos muchos de los cuales tienen aplicación en el análisis quimico.

Espectroscopia electrónica de auger (AES)

Ionizacion

Relajación y emisión de auger

La espectroscopia auger esta basada en la medición de la energía cinetica de los electrones emitidos. Cada elemento en una muestra tiene un espectro característico de picos a varias energías cineticas.

Espectrometro de auger

El espectrómetro de auger Consiste en una consola que tiene una cámara que opera a ultra alto vacío, un carrusel que contiene las muestras, un manipulador y una combinación de cañón electrónico con unidad analizadora de energía.

funcionamiento

Aplicaciones

Analisis de contaminantes en películas delgadas

Identificacion de elementos químicos superficiales (profundidad hasta 20 A)

Cuantificacion de los perfiles de concentración de compuestos en superficies

Ventajas

Permite relacionar la estructura del material con su composición química, obteniendo información sobre:homogeneidad,procesos de difusión, segregación de contaminantes, composición de conglomerados, localización y tipo de impurezas,etc

Desventajas

Alta sensibilidad superficial, por lo que materiales con alta contaminación de O2 y C atmosférico.