MEMS 产业专刊

2018 年第 12 期（总第 198 期）

主办:扬州市科学技术局

承办:扬州市科学技术情报研究所 2018 年 06 月 12 日

【产业要闻】

中德合建江苏 MEMS 智能传感器研究院 …………………… 1

沪江浙皖成立“长三角协同优势产业基金”聚焦 MEMS 等产业… 1

中芯国际 MEMS 集成电路产业化项目正式落地绍兴…………… 2

海鸥集团掌握 MEMS 微细加工制造工艺并生产出硅游丝 ……… 2

【热点追踪】

MEMS 创新资源分布及产业扶持政策 ……………………… 3

1

【产业要闻】

中德合建江苏 MEMS 智能传感器研究院

5 月 28 日，中德合作新型研发机构江苏 MEMS 智能传感器研

究院在南京江宁区正式揭牌。该院由德国国家微电子传感器研究

院、德国国家实验室 MEMS 传感器领域资深科学家、德国国家实

验室 MEMS 压力传感器领域“领军人物”陈立新博士人才团队共

同出资设立，主要围绕智能工业、智能交通、智能环保等 8 大方

向，构建自主研发、全球合作、高端技术人才等 9 大平台，加速

一批传感器、物联网企业在南京形成以研究院为核心的产业生态

圈。目前，江苏 MEMS 智能传感器研究院在筹备期间已将海外创

新成果转化为生产线上实实在在的产品，在宁落地的传感器填补

了国际上 MEMS 单晶硅传感器的空白，其开发的高精度陶瓷单晶

硅传感器解决方案也在行业内掀起震动，部分成果已与国内外企

业达成研发服务合同。

（信息来源：2018-5-29 《南京日报》）

沪江浙皖成立“长三角协同优势产业基金”聚焦 MEMS等产业

6 月 1 日，由上海国际集团有限公司牵头发起，总规模 1000

达亿元的“长三角协同优势产业基金”投资意向协议获得签署。

该基金重点布局生物技术、物联网、人工智能等三大面向未来的

产业，带动细胞治疗、抗体药、机器视觉、微机电系统（MEMS）、

2

人工智能诊断、智能驾驶、机器人等 20 多个行业快速迭代，促进

长三角地区形成面向未来的优势产业链集群。

（信息来源：2018-6-2 新浪网）

中芯国际 MEMS集成电路产业化项目正式落地绍兴

5 月 18 日，中芯国际正式启动绍兴 MEMS 和功率器件芯片制

造及封装测试生产基地，首期投资 58.8 亿元人民。该项目聚焦

MEMS 和功率器件领域，专注于晶圆和模组代工，持续投入研发

并致力于产业化。绍兴 8 吋厂预计于 2020 年 1 月正式投产。

（信息来源：2018-5-18 搜狐网）

海鸥集团掌握 MEMS 微细加工制造工艺并生产出硅游丝

近日，天津海鸥表业集团正式为其全国首个钟表行业"博士后

科研工作站"授牌。海鸥表业现已掌握 MEMS 微细加工制造工艺

并能自主研发生产出硅材料游丝，为国内领先，与瑞士手表制造

行业等国际先进水平同步。海鸥博士后工作站研究课题是：

"MEMS 技术在机械手表中的应用及产业化"，这是机械手表设计

与制造工艺的一项突破性创新。预期目标是：提升海鸥无卡度同

轴陀飞轮手表的精度等级，实现硅材质擒纵调速机构在海鸥高档

手表中的应用。

（信息来源：2018-5-30 电子发烧友网）

3

【热点追踪】

MEMS 创新资源分布及产业扶持政策

一、MEMS 概述

（一）MEMS 定义及特点

MEMS 是英文 Micro-Electro Mechanical systems 的缩写，即微

电子机械系统。MEMS 技术是建立在微米/纳米技术基础上的 21

世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测

量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控

系统集成为一个整体单元的微型系统。

（二）MEMS 主要产品及各器件所处的应用阶段

MEMS 技术与不同的技术结合往往会产生一种新型的 MEMS

器件。微机电系统内部包含的单元主要有微传感器、微执行器、

微结构器件、微光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等。

图 1 各 MEMS器件所处的应用阶段

起步 发展 成熟 衰退

MEMS反射镜 微显示

MEMS 扬声器

自动对焦

（MEMS 摄像头）

微燃料电池

热电/热辐射计

操纵杆

MEMS振荡器 /谐振器

环境感应器（温度、湿

度） 9/10 轴惯性传感器

加速计、陀螺仪二合一

射频开关/可变电容

压力传感器

加速计、地磁

传感器二合一

陀螺仪

BAW（体声波）

双工器 MEMS 麦 克

风

地磁传感器 加速计

BAW（滤波器）

4

二、全球 MEMS 产业现状及趋势

据调研机构Yole Developpement 发布，2017 年全球MEMS 市场总

额预计为 129 亿美元，比 2016 年的 114 亿美元增长了 13%。由智能手

机带动的 MEMS 产业第二波发展潮已经进入尾声，2017 年博世

（BOSCH）,意法半导体（ST）、德州仪器（TI）等 MEMS 产业龙头

企业都密切关注新兴产业（AR/VR，自动驾驶，物联网等）的应用。

表 1 2016-2022年 MEMS 全球市场细分

表 2 2017-2022年不同 MEMS器件的复合年增长率及市场规模

5

数据显示，RF（射频） MEMS 滤波器在 2017 年至 2022 年

期间将以 35%的复合年增长率成长，细分产业营收和出货量方面

的复合年增长率分别为 16.7%和 21%。RF MEMS 现已广泛应用于

3G、4G 和下一代 5G 移动设备，用于提升网络和数据传输性能。

军用市场，也因小型化、智能化的发展趋势，对 RF MEMS 器件

和子系统的需求量巨大。

MEMS 振荡器和谐振器的出货量将于 2022 年超过十亿颗，这主

要归因于其在时钟市场中的渗透率提升。硅基微流控是另一类具有

高增长率的 MEMS 器件，2017～2022 年的复合年增长率高达 20%。

下一代 DNA 测序正在推动硅基微流控的医疗应用。新系列 Ion

Torrent 硅基 DNA 测序芯片已经进入市场。

环境监测 MEMS（包括气体传感器和化学传感器）未来五年的

复合年增长率为 16%。随着空气质量日益成为全球人类的健康问题，

集成气体传感器的可穿戴设备和物联网设备越来越多，环境监测传

感器市场具有光明的未来。

三、国内 MEMS 产业发展特点与创新资源分布

目前，随着 MEMS 在可穿戴设备、VR/AR 等消费类产品中应

用渗透率高速增长的影响，亚太地区在智能手机、平板电脑、可

穿戴设备等电子产品产量大幅提高的带动下，MEMS 市场规模进

一步扩大。其中，我国 MEMS 产业发展呈现四大特点：（1）消

费电子领域的普及将成为 MEMS 实现爆发式增长的突破口；（2）

6

多传感集成技术的成熟将成为 MEMS 功能优化的关键性节点；（3）

MEMS创新技术孵化器将推动MEMS产品加速开拓新兴市场；（4）

产业投资基金成为资本助力 MEMS 产业实现跨越的重要途径。

从地域分布而言，国内 MEMS 产业企业主要集中在长三角、

珠三角、环渤海地区，MEMS 研发机构主要集中在华北、华东和

东北三个地区，还有西南地区的重庆和西北地区的西安等。不同

层次的研发单位共有 60 多个，约占全国 MEMS 产业企业总数的

55%，其中，以上海、苏州、无锡三地为产业最为集中。

表 3 我国著名 MEMS研究机构

省份 机构名称 专注领域

北京

清华大学——微电子技术

研究所微纳器件与系统实

验室

新型微电子器件与系统，纳电子学

北京大学——微电子研究

院微机电系统研究所--微米

/纳米加工技术国家级重点

实验室

RF MEMS、MEMS 陀螺、微流控芯

片、生物 MEMS

中科院微电子所——纳米

加工与新器件集成技术实

验室

下一代存储技术、衍射光学与纳米

传感器、有机器件和电路、先进掩

膜制造与电子束光刻技术

天津

天津大学——精密仪器与

光电子工程学院精密仪器

工程系

精密测控技术及仪器智能化、微纳

加工与测试技术、微系统设计与制

造

上海

中科院上海微系统与信息

技术研究所——传感技术

联合国家重点实验室/微系

统技术国家级重点实验室

超低温 MEMS 压力传感器、可悬浮

压力敏感结构

7

上海交通大学——微纳科

学技术研究院

非 硅 微 细 加 工 与 微 机 电 系 统

（MEMS）、纳米生物医学、纳米

电子学与器件的制造技术、边缘化

的 LIGA 工艺

华东师范大学——电子科

学系/微电子电路与系统研

究所/集成微机电系统研究

室

射频/微波 MEMS 开关、移相器、

可重构天线和滤波器、光通讯中

MEMS 调制器、衰减器、均衡器等

研制

江苏

东南大学——微电子机械

系统（MEMS）教育部重点

实验室

CMOS MEMS、RF MEMS、MEMS

CAD、MEMS 封装与可靠性等方向

南京理工大学——机械工

程学院 MEMS 惯性技术研

究中心

MEMS 惯性传感器技术，军工背景，

MEMS 陀螺仪指标目前国内最高

中国电子科技集团公司第

55 研究所——南京电子器

件研究所 MEMS 中心

硅基 MEMS、RF MEMS 和声表面波

器件的研发

安徽

中国科学技术大学——工程

科学学院/微系统工程中心

微系统制造技术、微系统设计方

法、应用微系统

中国科学院合肥智能机械

研究所——仿生感知与控

制研究中心/仿生 MEMS 实

验室

仿生感知与控制结，合以微纳米技

术、传感技术、人机接触交互与遥

操作技术、图像处理技术、网络控

制技术为手段

河北

中国电子科技集团公司第

十三研究所——MEMS 微

米/纳米研究中心

微纳电子器件、加速度传感器、陀

螺仪、碰撞传感器、倾角传感器、

振动传感器、流量传感器、光开关、

光衰减器、光反射镜、RF 开关、微

波移相器、微波带通滤波器

湖北

华中科技大学——武汉光

电国家实验室/华中科技大

学微纳光电子系

MEMS 研究的相关的机械工程、物

理、材料学、微电子、光电、IC 设

计、计算力学

山西 中北大学——微米纳米研

究中心

事微米纳米技术、微系统集成技术

以及智能平台技术

福建 厦门大学——萨本栋微机

电研究中心

微纳米加工技术、微纳米材料以及

微纳米器件与系统的研究与应用

8

四、国内 MEMS 产业园及重要扶持政策

1、苏州 MEMS 产业园

苏州纳米工业园联合国内 MEMS 资源与园区企业交流（国内外

MEMS资源有哪些），建设 MEMS产业领域重大平台，组建全国性行业

组织，设立促进产业资源聚合、重大关键技术创新的制造业创新中

心，推动《苏州工业园区关于促进微纳电子机械系统产业发展实施

细则（试行）》落地实施，夯实 MEMS产业发展基础。

表 4 苏州 MEMS产业园投资建设重大措施

表 5 苏州 MEMS产业扶持政策

产业专

项政策

《苏州工业园区关于进

一步推进纳米技术创新

与产业化发展的若干意

见（试行）》

经苏州工业园区科技局认定的

纳米技术企业，可享受纳米技术产品

2%销售奖励，旗舰型纳米技术企业可

获 1000 万元资金支持；

优先推荐享受贷款、贴息、研发

用房、土地支持、上市补贴；从优享

受引导基金支持。

2014年

建成 6 英寸微纳机电制造（MEMS）中试平台，彻底填

补我国 MEMS产业研发机构与规模代工厂之间的空白，构建

苏州工业园区“研发—中试—规模生产”的完整 MEMS 产品

技术创新链

联合国内知名 MEMS领域企业、科研机构、产业组织，

组建中国半导体行业协会 MEMS分会

2016年

获批筹建江苏省微纳制造业创新中心

开展核心关键技术、共性技术和共性产品的研发

打造战略合作和合资的创新联合体

建设全国首个 MEMS产业领域专利运营平台

2017年 联合筹建江苏省微纳制造业中心

9

《苏州工业园区关于促

进微纳电子机械系统产

业发展实施细则（试行）》

对注册在苏州工业园区，且在园

区 MEMS 中试平台进行 MEMS 芯片中

试研发、流片、和小规模生产项目，

可享受 30%～50%的产品导入补贴。

其他补

贴

补贴内

容

MEMS项目 企业在园区 MEMS中试平台进行 MEMS新产品芯片

的中试研发、流片和小规模生产项目。

MEMS 企业应在园区注册，有独立法人资格，投产后研发、

生产、经营和纳税关系在园区。先用后补，企业提交申请同时提

供 MEMS 产品中试服务合同、费用凭证等证明。

MEMS 产品（补贴）类型 补贴形式 补贴上限

使用贵金属的产品

最高 50% 100 万元/企业/

年

流片特征尺寸≤10μm

产品

流片特征尺寸＞10μm

产品 最高 40%

中试平台新产品工艺能

力研发 最高 30%

30 万元/产品

120 万元/平台/

年

2、淄博高新区 MEMS 产业园

表 6 淄博 MEMS产业园建设成效及重大措施

2016 年 7 月 由清华大学、淄博高新区 MEMS研究院和国高（淄博）微

系统科技有限公司共同完成的国内首套“硅基 MEMS中试代工平台”，实行企业化运营。

2017 年 9 月 清华同方和淄博高新区共建 MEMS 创新产业园。为支持园

区发展，双方共同成立园区运营公司，双方合作成立首期 10亿元的 MEMS产业发展基金。

2018 年 4 月

承办“首届中国(淄博)MEMS产业战略高峰论坛”，共同启动了淄博高新区 MEMS 研究院硅微机械陀螺、加速度计、继电器等产品的下线仪式，同时，举行了新型 MEMS 继电器研制项目等 10 个合作项目。

10

硬件设施

国高 MEMS 的生产基地，厂房面积 5000m2，拥有 1540m2超洁净区，超净规模国内一流，且拥有德国 SUSS 公司光刻机、奥德利 EVG 公司键合机、英国 SPTS 公司深硅刻蚀机等国际一流 6 英寸半自动 MEMS 及微纳米代工线设备。

园区建设

目前，项目近 3万平方米，完成投资约 2.6 亿元。目前，同方股份有限公司、台湾点晶科技有限公司、航天 704 所、中国兵器集团公司、中电集团 55 所、哈工大电路设计公司等多家科研机构和企业已达成入驻意向。

人才政策

由淄博高新区、MEMS 研究院、北京嘉华力源科技发展有限公司三方共同出资,成立的国高(淄博)微系统科技有限公司，招聘了一批本科以上学历的人才团队，包括环境能动团队、工艺技术团队、财务团队、综合管理团队等，目前已到位 35人。

合作院校、重点实验室

清华大学、北京大学、重庆大学、哈尔滨工业大学、中北大学

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