一般工業ガス用

圧力調整器

Ⅰ

分析用標準ガス・

理科学機器用

圧力調整器

Ⅱ

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス用圧力調整器

Ⅲ

一般工業ガス

供給設備・機器

Ⅳ

分析用標準ガス

供給設備・機器

Ⅴ

大臣認定について

Ⅶ

高圧ガスの法律

Ⅷ

参考資料

Ⅸ

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス供給設備・機器

Ⅵ

124

グレード

EX-300mkⅡ-G2/G3

EX-400mkⅡ-G2/G3【特長】

【EX-300mkⅡ型シリーズ 流量表】 【EX-400mkⅡ型シリーズ 流量表】

【標準仕様】

・2段減圧式を採用しており、入口圧力に変動が生じても、出口流量は、安定しています。 ・小流量から大流量まで、広範囲に使用できます。

型　式 EX-300mkⅡMR-EX-300mkⅡ

EX-400mkⅡMR-EX-400mkⅡ

EX-400mkⅡMR-EX-400mkⅡ

EX-300mkⅡMR-EX-300mkⅡ 認定品

仕様 G2超高純度、毒性・腐食性ガス

SUS316SUS316SUS316

G3標準ガスSUS316SUS316SUS316

1×10-8Pa･m3/sec以下 Heガス加圧/12H

ダイヤフラム弁（Rc1/4）付付2.4kg

ディスク弁（Rc1/4）付付2.4Kg

20.0MPa以下0.1～0.6MPa以下

0～20R/min（標準状態）50R/min（標準状態）

0.05－10～＋60℃－70℃以下

0～25MPa－0.1～0.6MPa

Rc1/4173ページをご参照下さい。

G2超高純度、毒性・腐食性ガス

SUS316SUS316SUS316

G3標準ガスSUS316SUS316SUS316

1×10-8Pa･m3/sec以下 Heガス加圧/12H

ダイヤフラム弁（Rc1/4）付付2.5kg

ディスク弁（Rc1/4）付付2.5Kg

20.0MPa以下0.1～0.6MPa以下

0～100R/min（標準状態）150R/min（標準状態）

0.05－10～＋60℃－70℃以下

0～25MPa－0.1～0.6MPa

Rc1/4173ページをご参照下さい。

材　質本体

ダイヤフラムシート

適用ガス

1 次 圧 力調 整 圧 力標 準 流 量最 大 流 量最 大 C V 値使 用 温 度露 点 温 度H e 外 部 リ ー ク 値1 次 圧 力 計2 次 圧 力 計出 入 口 形 状出入口継手オプション出 口 弁逃 し 弁本 体 質 量

認定品仕様－ MRシリーズ 認定品仕様－ MRシリーズ 御注文時に下記項目をご指定下さい

型式・流体名

右高圧／左高圧

1次／2次設計圧力

1次／2次圧力計

入口／出口継手形状

DEC.INC.

CHIYODA SEIKI

MPa

１．６

ＵＳＥ　ＮＯ　Ｏ

ＩＬ　＆　ＷＡＴ

ＥＲ

MPa

－０．１

ＭＰａ

１．６

ＣＯＭＰＯＵＮＤ

　ＧＡＵＧＥ

約85

約119

Rc1/4” Rc1/4”

Rc1/4

φ52

Rc1/4

φ55

φ50

60°

４５

約177約70約107

123

Ｗ22山14

６７８

約34

９

約96約188

約42

Rc1/4

24

9 8 7 6 5 4 3 2 1

出口ディスク弁パッキン袋ナット足ネジ低圧圧力計高圧圧力計押シネジハンドルカバー本体

φ65

DEC.INC.

CHIYODA SEIKI

MPa

１．６

ＵＳＥ　ＮＯ　Ｏ

ＩＬ　＆　ＷＡＴ

ＥＲ

MPa

－０．１

MPa

１．６

ＣＯＭＰＯＵＮＤ

　ＧＡＵＧＥ

60° Rc1/4

Rc1/4

φ54

φ55

約177約103 約74

φ52

Rc1/4” Rc1/4”

123

４５

約123約87

Ｗ22山14

６７８約36

約98約209

ＳＯＦＴ　ＳＥＡＬ

ＣＨＩＹＯＤＡ　ＳＥＩＫＩ

ＰＯ

Ｅ

Ｎ

ＵＴ

ＨＳ

Rc1/4"

約111

９

9 8 7 6 5 4 3 2 1

出口ダイヤフラム弁パッキン袋ナット足ネジ低圧圧力計高圧圧力計押シネジハンドルカバー本体

限界流量

30

1.0

0.9

807060504020

0.7

0.5

0.3

0.1

10

圧力降下特性曲線

圧力降下特性曲線は１次圧力と２次圧力の差圧が3MPa以上での特性を示す．

流　　量 l/min(Normal)［at Air］

力圧次２(MPa)

０

0.8

0.6

0.4

0.2

圧力降下特性曲線

限界流量

120

1.0

0.9

32028024020016080

0.7

0.5

0.3

0.1

40

圧力降下特性曲線は１次圧力と２次圧力の差圧が3MPa以上での特性を示す．

流　　量 l/min(Normal)［at Air］

力圧次２(MPa)

０

0.8

0.6

0.4

0.2

※写真 G3

※写真 G2

EX-300mkⅡ/EX-400mkⅡ

Ⅱ 【外観寸法図】

【外観寸法図】

A ボンベ用圧力調整器 バルブ付2段減圧式圧力調整器（MAX.1次圧力:20.0MPa, 調整圧力:0.1～0.6MPa） 4

※G1グレード, EP（電解研磨品）, その他は, 第Ⅲ章をご参照下さい。

EX-300mkⅡ-G2,G3/EX-400mkⅡ-G2,G3…MR（認定品）シリーズ エクセレント・マークⅡシリーズ