蔡司 evo 18 应用于材料分析的研究级扫描电镜 · 借助五段低电压 bse...
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蔡司 EVO 18应用于材料分析的研究级扫描电镜
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EVO 18 是一款具有处理所有材料类型能力的分析型显微镜，为您提供卓越成像品质。标配能谱仪和波谱仪（EDS & WDS）接口，另有用于高级形貌与化学分析的全集成式颗粒分析和识别解决方案可供选择。通过升级 LaB6 高亮度光源将与 X 射线分析相关的探针电流性能提升至一个全新水准。EVO 18 扫描电镜的五段二极管背散射电子（BSE）探测器有助于增强低电压性能及提供更丰富的形态信息。对于非导电样品，电子束衬管技术可有效提高分辨率。无论应对何种难度的材料分析应用，EVO 18 始终令您的样品清晰可辨。
全套材料分析解决方案
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分析研究性能EVO 18 业内领先的 X 射线几何结构，可借助标配能谱仪和波谱仪（EDS & WDS）接口对所有材料样品实现最精准分析。其五段背散射电子探测器（BSD）有助于增强低电压性能及提供更丰富的形态信息。
最大样品多元性EVO 18 能够处理的最大样本直径与高度分别为 250 mm 和 145 mm。标配可变电压功能则可以用于分析干燥样品或水合物样品。此外，共面设计为 EBSD 与 EDS 的组合应用提供了理想的几何条件。
随时随地满足您的应用需求EVO 18 有多种型号可供选择，并借助可升级选件提供更高灵活性，系统始终以应用需求为导向。无论您正在寻找一套全集成式 EDS 系统、一款能充分利用多个探测器综合性能的高级图像浏览工具，或一款快速图像拼接工具；EVO 18 将随时随地满足您的应用需求。
EVO 18：更简单、更智能、更高度集成。
借助五段低电压 BSE 探测器在阴影模式下对过滤纸进行成像。 在 15 kV 电压下，使用 BSE 探测器对火山灰进行成像。 EVO 样品室的几何形状使其具有 8.5 mm 最低分析工作距离的特性。
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10 μm 50 μm
10 μm
10 μm
10 μm
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EVO 18 应用案例
在 15 kV 电压下，使用 ETSE 探测器对喷镀金属进行成像。借助五段低电压 BSE 探测器在阴影模式下对钢板内的缺陷进行成像。
在 20 kV 电压和 40 Pa 气压下，使用 VPSE 探测器对水泥进行成像。
在 20 kV 电压和 20 Pa 气压下，使用 BSD 探测器对玻璃鳞片进行成像。
在 2 kV 电压下，使用 ETSE 探测器对集成电路进行成像。在 25 kV 电压和 66 Pa 气压下，使用 VPSE 探测器对陶瓷进行成像。
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50 μm
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应用无极限
为更好地满足您的需求，请选择 EVO 18 Research 或 EVO 18 Particle Analyzer。
在 20 kV 电压下，使用 BSE 探测器对沙石进行成像。 使用 SmartPI 图像分析软件获取的图像，图中呈现出不同大小等级的颗粒；通过单色定义大小等级。
EVO 18 ResearchEVO 18 Research 是学术和研究机构使用的一款分析型扫描电子显微镜。
EVO 18 Research可为您提供卓越成像品质，具有处理大量材料类型的能力。结合 SmartSEM 软件的易用性，使其成为大量研究应用的最佳之选，范围涵盖半导体和电子技术、地质科学及材料。
EVO 18 Particle AnalyzerEVO 18 Particle Analyzer 是工业应用领域中的顶级分析扫描电子显微镜。
EVO 18 Particle Analyzer 配套安装有功能强大的图像分析工具 SmartPI 软件（Smart Particle Investigator）。 如果需要一款用于高级形貌与化学分析的全集成式颗粒分析和识别工具，那么它便您的最佳选择。SmartPI 可实现 EVO 18 与能谱仪（EDS）的无缝集成。*
*可选择升级
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200 μm
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SmartBrowse 关联式成像工具。 使用 SmartStitch合成的电路板完整的高清图像。 EVO 18 灵活的样品室设计和业内领先的 X 射线几何结构。
应用无极限
根据您的需求，使用 EVO 18 Research 和 EVO 18 Particle Analyzer 附加选件来定制系统。
SmartBrowseSmartBrowse 是一款后期图像采集的关联式成像工具。借助这款蔡司专利软件，您能够在单幅或相关联的图像中显示不同放大倍数、不同探测器的图像。它利用图像数据分层来关联不同成像模式，以获取最丰富的样品信息。
结合 SmartSEM 软件的易用性，这套软件包能够帮助从空间和成像参数上完整理解图像之间的关联信息。
探测器选件通过 EVO 18 提供的升级方式，您可以为不同应用获取所需成像结果。这款扫描电镜支持多种探测器选件，如样品电流探测器（SCD）、可变压力二次电子探测器（VPSE）及阴极荧光探测器（CL）。
SmartStitchSmartStitch 开启单幅 SEM 图像收集的全新境界。 SmartStitch 是用于大面积测绘的直观图像采集和拼接软件解决方案。首先采集一系列高分辨率图像，然后再将这些图像以拼接的方式组合成一幅完整图像。
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技术参数
EVO 18 主要参数
分辨率 3 nm （2 nm） @ 30 kV SE 和 W （LaB6）
4 nm @ 30 kV VP 模式
15 nm @ 30 kV 1 nA， LaB6
20 nm （15 nm） @ 1 kV SE 和 W （LaB6）
10 nm @ 3 kV SE
束流 0.2 - 30 kV
探针电流 0.5 pA - 5 µA
放大倍数 < 5 - 1,000,000x
观察视野 在分析工作距离（AWD）处为 6 mm
X 射线几何结构 在分析工作距离处为 8.5 mm 和 35°出射角
OptiBeam* 模式 分辨率、景深、分析和鱼眼大视野
压力范围 10 - 400 Pa，使用空气或可选用水蒸汽
可选探测器 ETSE – Everhart-Thornley 二次电子探测器（标配）
BSD – 5 段二极管背散射电子探测器（标配）
VPSE – 可变电压二次电子探测器
SCD – 样品电流探测器
EDS – 能谱仪
WDS – 波谱仪
CL – 阴极荧光探测器
EPSE – 扩展压力二次电子探测器
STEM – 扫描透射电子显微镜探测器
样品室 365 mm（直径）x 275 mm（高度）
5 轴电动优中心样品载物台 X = 125 mm
Y = 125 mm
Z = 50 mm（借助 Z 轴最大样品高度可扩展至 145 mm，移除倾斜和旋转模块）
T = -10° - 90°
R = 360°（连续）
载物台可通过鼠标、操纵杆或控制板调节
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技术参数
EVO 18 主要参数
未来可升级途径 电子束衬管
扩展压力套件（高达 3000 Pa）
水蒸汽套件
图像处理 分辨率：高达 3072 x 2304 像素
通过积分平均值法采集信号
图像显示 高品质平板显示器，可以 1024 x 768 像素分辨率显示 SEM 图像
支持双通道显示
系统控制 通过鼠标和键盘操作的 SmartSEM** 图像用户界面
Windows® 7 多国语言版
实用需求 100 - 230 V，50 或 60 Hz 单相
无需水冷
配有操纵杆、美标键盘、美标控制面板及鼠标
*OptiBeam – 以主动式镜筒控制最高分辨率、最大视野或最佳景深**SmartSEM – 第 5 代扫描电镜控制图像用户界面
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通过蔡司的服务合同，在保持显微镜的优良性能中获益——就在当下和未来。
服务实至名归
深知蔡司显微镜系统是您最重要的工具之一，保证它每时每刻正常工作是我们的责任。我们将协助您将显微镜的功能发挥到极致。一系列由高水平蔡司专家们量身打造的服务产品供您选择，以及在系统购买后我们提供的长期技术支持。旨在让您体验到那些能够激发您工作激情的美好瞬间！
维修、维护及优化确保显微镜的正常工作时间。蔡司的维保服务协议可让您的运行成本更经济，避免因停机而造成的损失，并通过提升系统性能达到最佳工作状态。维保服务协议可为您提供一系列的可选服务种类以及不同级别的服务。在选择服务方案上我们会给予全力支持，以求满足您的系统需求与使用要求，同时遵守您单位的规定。
服务随需而动可为您的工作带来便利。无论是使用远程维护软件还是现场操作，蔡司服务团队会对各类问题进行具体分析并加以解决。
增强显微镜系统蔡司显微镜系统可采用多种方式升级：开放式升级界面让您一直保持较高的技术水准。当新升级装备付诸应用时，不仅能延长显微镜的使用寿命，还能令工作效率倍增。
请注意，我们会随时按照市场的需求对服务产品进行调整，并不时予以修订。
>> www.zeiss.com/microservice
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The moment “I think” becomes “I know”.This is the moment we work for.
// technology Made By Zeiss
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Carl Zeiss Microscopy GmbH 07745 Jena, Germany [email protected] www.zeiss.com.cn/microscopy www.zeiss.co.in/evo18
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