Reflectividad de rayos X (XRR)
Jornada del Servicio de Instrumentación IRICA 2019
Refletometría de rayos X (XRR):
• Sirve para estudiar y caracterizar estructuras en forma de películas delgadas
• Es una técnica NO destructiva• Es muy útil para medir espesores de películas (desde pocos nm hasta decenas de
nm)
• Sirve para caracterizar espesores, rugosidades y densidades• Se utiliza para caracterizar estructuras de capas o revestimientos de una o varias
capas• Se emplea habitualmente en campos como los materiales magnéticos, ópticos,
semiconductores…
Reflectividad de rayos X (XRR)
Ley de Bragg: nl = 2d sin q
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http://hyperphysics.phy-astr.gsu.edu/hbase/quantum/bragg.html
Reflectividad de rayos X (XRR) Equipo:
• Bruker D8 Advance- Espejo Göbel (haz incidente colimado)- Cuchilla para cortar haz - Mesa portamuestras para reflectividad
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www.hzdr.de
Reflectividad de rayos X (XRR) Ley de Bragg: nl = 2d sin q
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Dq (espesor)
despesor = l/ (2Dq)
Kiessig fringes
Reflectividad de rayos X (XRR)
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Ángulo crítico qc
Reflectividad de rayos X (XRR)
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Dq (espesor)
Ángulo crítico qc (densidad)
Rugosidad, densidad
Caída de intensidad (rugosidad)
Reflectividad de rayos X (XRR)
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Sustrato (Si)
Co CoCoO
70nm 65nm
5nm
EspesorCoO
Monocapa (Co) Bicapa (Co/CoO)
Sustrato (Si)
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Software de simulación DIFFRAC LEPTOS
Reflectividad de rayos X (XRR)
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SrTiO3
LaSrCoO3 25,6nm
2,5nm
0 1 2 3 4 5 6
1000
10000
100000
1000000
1E7 exp. sim.
Inte
nsity
(cou
nts)
2 Theta (degrees)Muestra crecida por Mirian Sánchez (UCLM)
Ejemplo:crecimiento epitaxial de óxidos por sputtering (UCLM)
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0 1 2 3 4 5 6 7101
102
103
104
105
106
Exp. sim Exp.
Inte
nsity
(cps
)
2 Theta (degrees)
sustrato
Multicapa
bicapa
n
Si/[GdCo/Co]x20
Bragg peaks (BP)
Reflectividad de rayos X (XRR)
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Si/[Permalloy/Ti]xn
0 2 4 6 8 10
101
102
103
104
105
106
107
108
Int.
2 Theta (degrees)
Exp Sim
1º BP
2º BP 3º BP
4º BP 5º BP
Kiessig fringes
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Equipo:
• Bruker D8 Advance- Laboratorio -1.15 (sótano)- E.T.S Ingenieros Industriales Edificio Politécnico
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Contacto:
• Juan Pedro Andrés Grupo de Materiales Magnéticos (GMM)- [email protected] Tfno: 926 295300 Ext: 3827
