bombas turbomoleculares

7/21/2019 Bombas turbomoleculares

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P

Bombas

turbomolecularesEXT

Bombas turbomoleculares EXTBomba turbomolecular EXT75DX 5-4

Bomba turbomolecular EXT255DX 5-5

Bomba turbomolecular EXT70 5-6

Bomba molecular compuesta EXT70H 5-7Bomba molecular compuesta EXT255H 5-8

Bomba turbomolecular EXT250M 5-9

Bomba molecular compuesta EXT555H 5-10

Gráficos de desempeño de la bomba EXT 5-11

Controladores para bombasturbomoleculares

Controladores EXC 5-12

Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 5-14

Controlador de bombas turbomoleculares TIC 5-20

Accesorios EXT 5-26

Accesorios combinados EXPT 5-28


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BOMBAS TURBOMOLECULARES EXT YCONTROLADORES EXC

Nuestra familia de bombas turbomoleculares y bombas molecularescompuestas EXT y controladores EXC utiliza tecnología de última generaciónpara brindar vacío alto y ultra alto confiable y libre de hidrocarburos.

Factores clave del desempeño

Una bomba turbomolecular (TMP) es una turbina de flujo axial de etapasmúltiples en la cual paletas de alta velocidad de rotación brindan compresiónal incrementar la probabilidad de que las moléculas de gas se muevan en ladirección de bombeo. La bomba turbomolecular está optimizada paracondiciones de flujo molecular y requiere una bomba de aleta rotativa de dosetapas de tamaño adecuado o una bomba scroll libre de aceite para evacuar ala atmósfera.Una bomba molecular compuesta (CMP) se basa en el concepto de combinaretapas turbomoleculares empaletadas con etapas moleculares de arrastre enel mismo rotor. Este diseño permite:• Presiones frontales críticas y elevadas (por lo general de hasta 10 mbar)• Opciones para utilizar bombas de refuerzo más pequeñas o bombas secas

de refuerzo de diafragma

Velocidad de bombeo (la velocidad del flujo del volumen) estádeterminada por el diámetro del rotor, el tamaño de la brida de entrada y lavelocidad de rotación. La velocidad de bombeo se reduce a altas presiones deentrada hasta un valor determinado por el tamaño de la bomba de refuerzo.

A medida que se eleva la presión de entrada, la disipación de la potencia delmotor y la temperatura de la bomba se incrementan. La presión máxima deentrada continua establece el límite de rendimiento máximo para unbombeo uniforme y depende del método de enfriamiento utilizado. Superadaesta presión, la velocidad de rotación de la bomba se reduce mientras que lossensores de temperatura limitan la potencia de la bomba. Con una bombaenfriada por agua, el rendimiento máximo real depende del tamaño de labomba de refuerzo.

La potencia eléctrica quiescente es la energía eléctrica nominal disipadapor una bomba que opera a la máxima velocidad de rotación y con un bajorendimiento de gas (presión de entrada por debajo del rango de los 10-3

mbar). Durante el tiempo de arranque, o cuando opera con un altorendimiento de gas o por encima de la presión de refuerzo crítica, la disipaciónde la potencia de la bomba se incrementará y se aproximará a la máximapotencia de salida para el controlador EXC utilizado. La presión de refuerzocrítica para bombas turbomoleculares convencionales es aproximadamente0,1 a 0,2 mbar.

La relación de compresión está determinada por la velocidad derotación, el número de etapas de la bomba y el peso molecular del gasbombeado. Es mayor para los gases más pesados, lo cual explica porqué lasupresión de la contracorriente de hidrocarburos es tan efectiva y porqué larelación del hidrógeno es tan importante en aplicaciones de vacío ultra alto.

La presión final medida de acuerdo con las normas Pneurop, es la presiónmás baja alcanzada en el sistema de prueba, 48 horas después del desecado. Elsistema está respaldado solamente por una bomba de aleta rotativa de dosetapas. Se utilizan sellos de entrada de fluoroelastómero en bombas con bridasISO y se utilizan sellos de metal en modelos de bombas con bridas CF.

Tecnologías de cojinetes y suspensiónUtilizamos dos tecnologías básicas: cojinetes magnéticos y cojinetes de bolamecánicos de cerámica.

Los cojinetes de cerámica, los cuales están lubricados de por vida con grasa oaceite, han reemplazado a los cojinetes de acero convencionales. Las bolas decerámica de nitruro de silicio son más livianas, más resistentes y más suavesque sus equivalentes de acero, lo que les otorga una mayor vida útil ycaracterísticas de baja vibración. La confiabilidad es mayor porque losmateriales de las bolas y el anillo-guía son diferentes, lo que impide lamicrocavitación.

Los cojinetes magnéticos aumentan aún más la confiabilidad. Nuestras bombasturbomoleculares EXT de hasta 540 l s-1 utilizan un conjunto híbrido de

cojinetes con un cojinete superior magnético permanente y un cojineteinferior de cerámica lubricado con aceite o grasa.

La familia EXT también incluye el EXT250M en el que el rotor estáenteramente sostenido por cojinetes magnéticos. Esto ofrece ventajasadicionales:• Libre de aceite – Sin contaminación por hidrocarburos proveniente de la

bomba turbomolecular• Bajo mantenimiento – La falta de contacto entre los cojinetes elimina el

desgaste mecánico• Bajo nivel de vibración – Por lo general, de una magnitud inferior a los

cojinetes convencionales• Bajo nivel de enfriamiento – El enfriamiento a temperatura ambiente es

suficiente para muchas aplicaciones• Cualquier orientación – La bomba puede montarse en cualquier posición

Tecnologías del rotor Utilizamos dos tecnologías básicas:• turbomolecular convencional de tipo "full stack" (por lo general de 12

etapas)• molecular compuesto (que combina etapas turbomoleculares y de

arrastre)Además, las bombas EXT de hasta 540 l s-1 utilizan rotores monobloquemaquinados a partir de una barra sólida por fresadoras de alta velocidadcontroladas por computadora. Esta tecnología produce rotores estables yrígidos y permiten una flexibilidad de diseño virtualmente ilimitada para undesempeño óptimo al vacío.

Tecnología del motor Las bombas EXT utilizan motores de c.c. sin escobillas y están disponibles envariantes de 24 y 80 voltios. Para las bombas de 24 voltios, la línea decontroladores TIC está disponible con el beneficio agregado de controladoresde instrumentos integrados. Para las bombas de 80 voltios, puede elegir de lalínea de controladores EXC para optimizar las opciones de desempeño y elcosto de su aplicación. (La bomba EXT250M debe utilizar un controladorEXC300M).Los controladores incorporan un suministro de reserva regenerativo queproporciona energía en el caso de una falla en el suministro eléctrico paramantener la válvula de ventilación cerrada por varios minutos (y, en el caso delEXC300M, para asegurar el descenso seguro del cojinete magnético de labomba EXT250M).

Cojinetes de bola de cerámica




P

Aplicaciones corrosivasPara lograr la máxima vida útil y confiabilidad en las rigurosas condiciones deproceso que se encuentran en las aplicaciones de procesamiento de plaquetaspara semiconductores, le recomendamos que utilice bombasturbomoleculares de nuestras series BOC Edwards STP-C y STPH-C(consulte la página 4-5). Estas bombas Maglev tienen cojinetes magnéticos yson ideales para estas aplicaciones de trabajos pesados.

Orificio de purgaTodas las bombas EXT (con la excepción de la EXT70 y la EXT70H) cuentancon orificios de purga que pueden utilizarse para purgar el motor y la cavidadde cojinetes con un gas inerte (como el nitrógeno). Le recomendamos quepurgue la bomba cuando bombea mezclas de gases corrosivos y abrasivos oaquellos cuyo contenido de oxígeno sea superior al 20%. Puede utilizarnuestro Restrictor de purga PRX10 para fijar el flujo de purga de gas. Estoagrega, por lo general, hasta 25 sccm a la carga total de gas y la bomba derefuerzo debe tener un tamaño acorde.

VentilaciónPara mantener la limpieza de su sistema de vacío, le recomendamos que ventileuna bomba turbomolecular a una velocidad de rotación media o superior,cuando el rotor aún gira lo suficientemente rápido para eliminar cualquiercontracorriente de hidrocarburos de la línea de refuerzo.El orificio de ventilación de la bomba EXT se encuentra en la mitad del tubodel rotor para asegurar la máxima limpieza, incluso con válvulas de ventilaciónselladas con fluoroelastómero. Cada bomba se suministra con una válvula deventilación manual. Si se utiliza esta válvula manual, debe tener cuidado de noabrirla demasiado rápido, especialmente si el volumen del sistema es bajo (por

lo general, menor que el volumen aproximado de la bomba turbomolecular),porque si la velocidad del incremento en la presión es demasiado alta, la vidaútil de los cojinetes de la bomba puede reducirse.

En un sistema de bajo volumen, la velocidad del incremento en la presión serámayor que en un volumen alto para una velocidad de flujo de ventilacióndeterminada, y puede ser necesario restringir el flujo de gas de ventilación.Ofrecemos la familia VRX de restrictores de ventilación, los cuales puedeinstalar en su bomba EXT, (consulte la página 5-27).Puesto que la velocidad del incremento de la presión no puede controlarse demanera precisa por medio de la válvula de ventilación manual, lerecomendamos que, a menos que instale un restrictor VRX al orificio deventilación, espere hasta que la bomba turbomolecular haya aminorado suvelocidad al 50%, como lo indica el controlador, antes de abrir la válvula deventilación manual.

La velocidad máxima del incremento en la presión varia con cada modelo debomba, y el manual de instrucciones suministrado con la bomba EXT le darámás información acerca de esto, y el tamaño del restrictor de ventilaciónnecesario para alcanzar el más rápido incremento de presión permitido.

El control de la velocidad de ventilación es particularmente importante con lasbombas que utilizan cojinetes totalmente magnéticos, de otro modo loscojinetes de seguridad pueden dañarse.

La válvula de ventilación manual puede ser reemplazada por una válvula desolenoide TAV accionada por el controlador EXC para permitir la ventilacióntras una demora de 2 segundos durante el apagado, o demorar la ventilaciónhasta que la velocidad de rotación haya descendido al 50%. El controlador EXCtambién puede controlar la válvula de ventilación TAV en caso de una falla deenergía o de la bomba.

Puede seleccionar una de dos opciones de válvulas de ventilación de solenoide;la TAV5, que cubre la mayoría de las aplicaciones de ventilación automática, y

la TAV6 , que tiene una mayor conductancia que la TAV5 y está diseñada parausarse en cámaras más grandes (por lo general con un volumen superior a 10litros), o cuando desea utilizarla con un procedimiento de ventilación de dosetapas para obtener los tiempos de ventilación más rápidos posibles.Para ventilación en dos etapas, se necesitan dos válvulas TAV. Utilizando elflujo apropiadamente restringido para la válvula de ventilación de la primeraetapa, es posible comenzar a ventilar cuando la bomba EXT aún funciona a sumáxima velocidad de rotación. Una vez que la velocidad de rotación de labomba haya descendido a la mitad, podrá introducir velocidades de flujo másaltas desde la válvula de ventilación de la segunda etapa.

Criba de entradaSe instala una criba de entrada como equipamiento estándar a todas lasbombas EXT. La criba de entrada impide que la suciedad caiga en la entrada dela bomba. Además, la criba de entrada impide que haga contacto con las paletasde la bomba mientras está desconectada de su sistema de vacío.

EnfriamientoPara la mayoría de las aplicaciones, recomendamos que utilice enfriamientopor aire forzado con el enfriador por aire ACX apropiado conectado a subomba EXT. Si la temperatura ambiente es inferior a los 30 °C, las bombasEXT70, EXT70H y EXT250M pueden enfriarse por convección libre(dependiendo de la carga de gas y la presión de refuerzo). Nota: una alta cargade gas, alta presión de refuerzo y ciclos rápidos requieren más enfriamiento.

Sin embargo, si la temperatura ambiente es superior a los 35 °C (o superior alos 40 °C en el caso de la bomba EXT250M), debe enfriar la bomba EXT poragua. Los conectores con púas en el enfriador por agua son adecuados paramangueras con un diámetro interno de 6 mm.El enfriamiento por agua reduce la temperatura de funcionamiento del motor

de la bomba y los cojinetes y se recomienda particularmente cuando opera laEXT con un alto rendimiento continuo (es decir, una presión de entradasuperior a 1 10-3 mbar) o cuando calienta la bomba EXT por encima de los70 °C (medidos en la brida de entrada).

Alcance del suministroPara usuarios finales que desean controles e indicaciones en el panel frontalcuando utilizan una bomba de 80 voltios, un sistema operativo mínimorequiere que soliciten una bomba EXT, un controlador EXC y un cable de labomba al controlador. Para una bomba de 24 voltios, un sistema operativomínimo requiere que soliciten una bomba EXT, un controlador TIC y uncontrolador EXDC. (El controlador EXDC no es necesario cuando utiliza unabomba EXT75DX o una EXT255DX).

Cada bomba EXT cuenta con una criba de entrada, sello de entrada deelastómero o junta de cobre (según corresponda), válvula de ventilación

manual y enfriador por agua. La EXT75DX, EXT255DX y EXT555Mrequieren, además, un accesorio de enfriamiento por agua (si es necesario).

Cada controlador EXC/TIC se ofrece con un cable de suministro eléctrico sinterminación de 2m.




BOMBA TURBOMOLECULAR EXT75DX

Bombas turbomoleculares EXTBombaturbomolecularEXT75DXCaracterísticas y ventajas• Compatible con el controlador de bombas turbomoleculares e

instrumentos TIC• Múltiples modos de comunicación disponibles

- El modo paralelo permite una interfaz de señal de control tradicional- El modo serial acepta las interfaces RS-232

• Numerosos parámetros configurables por el usuario por medio de lainterfaz RS-232

- Configuración de control de la válvula de ventilación- Indicación de velocidad normal- Velocidad de marcha en espera- Configuración de energía programable- Consumo de energía- Temperatura de la bomba

• Capacidad de monitoreo mejorada incluyendo la velocidad, potencia ytemperatura de la bomba

DATOS TÉCNICOS

Brida de entrada DN63ISO-K, DN63CF o DN40NWRelación de compresión

N2 >1 × 1011

He 1 x 106

H2 5 x 104

Brida de salida DN16NWOrificio entre etapas (Variantes Hi) DN25NWBomba de refuerzo recomendada1 E2M0.7Orificio de ventilación !/8 pulg. BSPOrificio de purga !/8 pulg. BSPPresión máxima de entrada continua(bombeo de gases livianos)2

enfriamiento por agua (agua a 15 °C, temp.ambiente a 40 °C) 2 × 10-2 mbarenfriado por aire forzado,temp. ambiente a 35 °C 1 × 10-2 mbar

Velocidad de rotación nominal 90000 rpmVelocidad de rotación en espera Variable de 49500 a 90000 rpm

(63000 rpm por defecto)Tiempo de arranque al 90% de velocidad3 110 s

Método de enfriamiento Aire forzado / aguaTemperatura ambiente para enfriamiento poraire forzado 5 – 35 °CVelocidad mínima del flujo de agua deenfriamiento (agua a 15 °C) 15 l h-1

Rango de temperatura del agua 10 – 20 °CTemperatura máxima de la brida de entrada 100 °COrientación de operación Vertical y recta, hasta horizontalNivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador recomendado Accionado por el controlador

TIC100 para bombasturbomoleculares o para bombasturbomoleculares e instrumentos

Potencia quiescente 10 W

Velocidad de bombeo entre etapas(Variantes Hi) 10

BRIDA DE ENTRADA ISO63/100 63CF DN40NW

Velocidad de bombeo (l s-1)3

N2 61 61 42

He 57 57 49H2 53 53 48

Presión final (mbar)

Con bomba de refuerzo de aletarotativa41 <5 × 10-9 <5 × 10-10 <5 × 10-9

Con bomba de refuerzo de diafragma411 <5 × 10-8 <5 × 10-9 <5 × 10-8

Peso (Kg.) 3,0 4,9 2,9

1 Una bomba de refuerzo más grande puede ser necesaria para el máximo rendimiento. También

puede utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presión final de <5 mbar.

2 Superada esta presión de entrada, la velocidad de rotación desciende por debajo de la nominal.

3 Límite de potencia fijada a 80 W.

41 Presión final 48 horas después del desecado con una bomba de refuerzo de aleta rotativa de 2 etapas.

411 Presión final 48 horas después del desecado con Pb <5 mbar (500 Pa)

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSDESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO

Bomba Brida de entrada

EXT75DX ISO63 DN63ISO B72241000

EXT75DX CF63 DN63CF B72242000

EXT75DX NW40 DN40NW B72243000

EXT75DX ISO100 DN100ISO B72245000

EXT75iDX ISO63(entre etapas)

DN63ISO (principal)DN25NW (entre etapas)

B72238000

ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO

ACX75 - accesorio para enfriamiento por aire B58053075

WCX500 - accesorio para enfriamiento por agua B73600121

A Válvula de ventilación manual en el orificio de ventilación E Orificio de purga (suprimido)

B Pódulo F Orificio entre etapas (EXT75iDX solamente)

C Conector de interfaz lógica G Toma del conector del pódulo

D Orificio de refuerzo H Conexión a tierra




P

BOMBA TURBOMOLECULAR EXT255DX

BombaturbomolecularEXT255DXCaracterísticas y ventajas• Compatible con el controlador de bombas turbomoleculares e

instrumentos TIC• Múltiples modos de comunicación disponibles

- El modo paralelo permite una interfaz de señal de control tradicional- El modo serial acepta las interfaces RS-232

• Numerosos parámetros configurables por el usuario por medio de lainterfaz RS-232

- Configuración de control de la válvula de ventilación- Indicación de velocidad normal- Velocidad de marcha en espera- Configuración de energía programable- Consumo de energía- Temperatura de la bomba

• Capacidad de monitoreo mejorada incluyendo la velocidad, potencia ytemperatura de la bomba

DATOS TÉCNICOS

Brida de entrada DN100ISO-K, DN100CFRelación de compresión

N2 >1 × 108

He 4 x 105

H2 1,6 x 104

Brida de salida DN25NWOrificio entre etapas (Variantes Hi) DN25NWBomba de refuerzo recomendada1 RV3Orificio de ventilación !/8 pulg. BSP hembraOrificio de purga !/8 pulg. BSP hembraPresión máxima de entrada continua(bombeo de gases livianos)2

enfriamiento por agua (agua a 15 °C,temp. ambiente a 40 °C) 5 × 10-3 mbarenfriado por aire forzado, temp. ambientea 35 °C 5 × 10-3 mbar

Velocidad de rotación nominal 60000 rpmVelocidad de rotación en espera Variable de 33000 a 60000 rpm

(42000 rpm por defecto)Tiempo de arranque al 90% de velocidad3 80 sMétodo de enfriamiento Aire forzado / aguaTemperatura ambiente para enfriamiento poraire forzado 5 – 35 °CVelocidad mínima del flujo de agua deenfriamiento (agua a 15 °C) 15 l h-1

Rango de temperatura del agua 10 – 20 °CTemperatura máxima de la brida de entrada 100 °COrientación de operación Vertical y recta, hasta horizontalNivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador recomendado Accionado por el controlador

TIC200 para bombasturbomoleculares o para bombasturbomoleculares e instrumentos

Potencia quiescente 25 W

Velocidad de bombeo entre etapas(Variantes Hi) 10

BRIDA DE ENTRADA DN100ISO-K DN100CF


N2 220 220

He 230 230H2 180 180

Presión final (mbar)

Con bomba de refuerzo de aletarotativa41

<5 × 10-9 <5 × 10-10

Con bomba de refuerzo dediafragma411

<5 × 10-8 <5 × 10-9

Peso (Kg.) 6,25 8,6

1 Una bomba de refuerzo más grande puede ser necesaria para el máximo rendimiento. También puede

utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presión final de <5 mbar.

2 Superada esta presión de entrada, la velocidad de rotación desciende por debajo de la nominal.

3 Límite de potencia fijada a 160 W.

41 Presión final 48 horas después del desecado con una bomba de refuerzo de aleta rotativa de 2 etapas.

411 Presión final 48 horas después del desecado con Pb <5 mbar (500 Pa)

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS

DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO


EXT2555DX ISO100 DN100ISO-K B75311000

EXT255DX CF100 DN100CF B75312000

EXT2555iDX ISO100(entre etapas)

DN100ISO-K (principal)DN25NW (entre etapas)

B75313000


ACX250H - accesorio para enfriamiento por aire B58053160WCX500 - accesorio para enfriamiento por agua B73600121

A Válvula de ventilación manual en el D Orificio de refuerzo

orificio de ventilación E Toma del conector del pódulo

B Pódulo F Espacio para el conector de cable de ángulo recto

C Conector de interfaz lógica G Punto de conexión a tierra




BOMBA TURBOMOLECULAR EXT70

BombaturbomolecularEXT70

DATOS TÉCNICOS

Brida de entrada DN40NW, DN50NW,DN63CF o DN63ISO-K

Relación de compresiónN2 >1 × 108

He 6000H2 500

Brida de salida DN16NWBomba de refuerzo recomendada1 E2M0.7Orificio de ventilación !/8 pulg. BSP hembraPresión máxima de entrada continua 2

enfriamiento por agua a 15 °C, temp.ambiente a 40 °C 3 × 10-2 mbarenfriamiento por aire, temp.ambiente a 35 °C 1 × 10-2 mbarconvección libre a una temp.ambiente a 30 °C 6 × 10-3 mbar

Velocidad de rotación nominal 90000 rpmVelocidad de rotación en espera 63000 rpmTiempo de arranque al 90% de velocidad 90 s

Método de enfriamiento Convección libre o aireforzado o aguaTemperatura máxima de la brida de entrada 100 °CRango de operación de temperatura ambiente

con enfriamiento por convección libre 0 – 30 °Ccon enfriamiento por aire forzado 0 – 35 °C

Rango de temperatura del agua(para enfriamiento por agua) 10 – 20 °CVelocidad mínima del flujo de agua (a 15 °C) 15 l h-1

Orientación de operación Vertical y recta, hasta horizontalNivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador recomendado EXC100 o EXC120Potencia quiescente 10 W

EXT70 con brindas de entrada DN63ISO-K, DN63CF, NW40 y NW50

BRIDA DEENTRADA

DN40NW DN50NW DN63CF DN63ISO-K


N2 52 60 65 65He 53 56 60 60H2 46 48 50 50

Presión final(mbar)4 <5 × 10-9 <5 × 10-9 <5 × 10-10 <5 × 10-9

Peso (Kg.) 1,4 1,4 3,4 1,5

1 Una bomba de refuerzo más grande puede ser necesaria para el máximo rendimiento.2 Superada esta presión de entrada, la velocidad de rotación desciende por debajo de la nominal.

3 Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran

instaladas y reducen la velocidad en aproximadamente un 10%.

4 Presión final 48 horas después del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.




EXT70 DN40NW B72203000

EXT70 DN50NW B72204000

EXT70 DN63CF B72202000

EXT70 DN63ISO-K B72201000

1 5 7 . 0 5

5 7 . 5

F = 1 1 2

0 . 8 C

63

Ø50

106

4 x M4 x 6

Ø94

NW16A

4 5

E

A

3 2 . 6

DN63ISO-K

1 0 8

Ø113

DN63CF

Ø95

7 4

D

1 0 9 . 5 5

8 x Ø8.4

Ø92.1

1 6 4 . 0 5

Ø55

NW40

Ø75

NW50

G

A Orificio de refuerzo (brida de salida) E Conector de agua de enfriamiento

C Conector de suministro eléctrico F Espacio para el conector de cable de ángulo recto

D Válvula de ventilación G Punto de conexión a tierra




P

BOMBA MOLECULAR COMPUESTA EXT70H

Bombamolecularcompuesta EXT70H

DATOS TÉCNICOS

Brida de entrada DN40NW, DN63CF o DN63ISO-KBrida de salida DN16NWBomba de refuerzo recomendada1 E2M0.7Orificio de ventilación !/8 pulg. BSP hembraRelación de compresión

N2 >1 × 108

He 4 × 105

H2 3 × 104

Presión máxima de entrada continua2

enfriamiento por agua a 15 °C 9 × 10-1 mbarenfriamiento por aire a 35 °C 9 × 10-2 mbarconvección libre a 30 °C 9 × 10-3 mbar

Velocidad de rotación nominal 90000 rpmVelocidad de rotación en espera 63000 rpmTiempo de arranque al 90% de velocidad 90 s

Método de enfriamiento Convección libre o aire forzado oaguaTemperatura máxima de la brida de entrada 100 °CRango de operación de temperatura ambiente

con enfriamiento por convección libre 0 – 30°Ccon enfriamiento por aire forzado 0 – 35°C


Orientación de operación Vertical y recta, hasta horizontalNivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador recomendado (80 V) EXC100 o EXC120

(24 V c.c.) EXDC80 y TICPotencia quiescente 10 W

Velocidad de bombeo entre etapas(Variantes Hi)N2 6 l s-1

BRIDA DE ENTRADA DN40NW DN63CF DN63ISO-K


N2 52 65 65He 53 60 60

H2 46 50 50Presión final (mbar)

Bomba de aleta rotativa4 <5 × 10-9 <5 × 10-10 <5 × 10-9

Bomba de diafragma5 <5 × 10-8 <5 × 10-8 <5 × 10-8

Peso (Kg.) 2,8 4,7 2,8

EXT70H con brida de entrada DN63ISO-K



2 Con una presión de refuerzo de <0,1 mbar. Superada esta presión de entrada, la velocidad de rotación

desciende por debajo de la nominal.




5 Utilizando una bomba de diafragma con una presión final de <5 mbar.




EXT70H DN40NW B72223000

EXT70H DN63CF B72222000

EXT70H DN63ISO-K B72221000

EXT70Hi DN63CF B72228000

EXT70Hi DN63ISO-K B72229000

Unidades compatibles con TIC* (24 V c.c.)

EXT70H DN63-ISOK B72221991EXT70H DN63CF B72222991

EXT70H DN40NW B72223991

* También se requiere el módulo de control EXDC-80 (P/N D39645000). Consulte el a rtículo acerca delcontrolador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC al final de esta sección para obtener másinformación.

Ø92.1

F = 1 1 2

1 . 5

C

4 5

63

Ø50

106

4 x M4 x 6

Ø94

NW16A

E 3 3 . 5

DN63ISO-K

1 7 6

1 2 7

7 4

Ø113Ø95

7 6

A

G

D

1 2 8 . 5

DN63CF

8 x Ø8.4

3 3 . 5

E

D

A

1 7 6

Ø55

NW40

1 3 5 . 5

G

8 1

1 8 3

A Orificio de refuerzo (brida de salida)

C Conector de suministro eléctrico

D Válvula de ventilaciónE Conector de agua de enfriamiento

F Espacio para el conector de cable de

ángulo recto

G Punto de conexión a tierra






DATOS TÉCNICOS

Brida de entrada DN100ISO-K o DN100CFBrida de salida DN25NWOrificio de ventilación !/8 pulg. BSP hembraOrificio de purga !/8 pulg. BSP hembraVelocidad de bombeo1

N2 220 l s-1

He 230 l s-1

H2 180 l s-1


He 4 × 105

H2 1,6 × 104

Bomba de refuerzo recomendada2 RV3Presión máxima de entrada continua3

enfriamiento por agua a 15 °C, temp.ambiente a 40 °C 5 × 10-3 mbarenfriamiento por aire a temp.ambiente a 35 °C 5 × 10-3 mbarconvección libre a temp.ambiente a 40 °C 4 × 10-4 mbar

Velocidad de rotación nominal 60000 rpmVelocidad de rotación en espera 42000 rpmTiempo de arranque al 90% de velocidad

EXC100E 190 sEXC120 130 sEXC300 100 s

Método de enfriamiento Aire forzado o aguaTemperatura máxima de la brida de entrada 100 °CRango de operación de temperatura ambientecon enfriamiento por aire forzado 0 – 35 °CRango de temperatura del agua(para enfriamiento por agua) 10 – 20 °CVelocidad mínima del flujo de agua (a 15 °C) 15 l h-1

Orientación de operación Vertical y recta, hasta horizontalNivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador recomendado (80 V) EXC100, EXC120 o EXC300 (24 V c.c.) EXDC80 y EXDC160Otro controlador compatible EXC300Potencia quiescente 25 WVelocidad de bombeo entre etapas (Variante Hi)

N2 10 l s-1

H2 10 l s-1

EXT255H con bridas de entrada DN100ISO-K

BRIDA DE ENTRADA DN100ISO-K DN100CF

Presión final (mbar)Bomba de aleta rotativa4 <5 × 10-9 <5 × 10-10

Bomba de diafragma5 <5 × 10-8 <5 × 10-9

Peso (Kg.) 5,6 8,2





3 Con una presión de refuerzo de <0,1 mbar. Superada esta presión de entrada, la velocidad de rotación

desciende por debajo de la nominal.


5 Utilizando una bomba de diafragma con una presión final de <5 mbar.




EXT255H DN100ISO-K B75301000

EXT255H DN100CF B75302000


Unidades compatibles con TIC* (24 V c.c.)

EXT255H DN100ISO-K B75301991

EXT255H DN100CF B75302991


* También se requiere el módulo de control EXDC-160 (P/N D39646000). Consulte el artículo acerca delcontrolador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC al final de esta sección para obtener másinformación.

91

DN100ISO-K

1 9 0 . 8

NW25

1 4 1

F

1 . 5

A

45

C

A

1 3 1

1 9 0 . 8

4 x M5 x 20

E

5 8 . 5

17

Ø152

NW10

B

2 8

6 8

B

D

Ø130.2

Ø152Ø130

9 4

16 x Ø8.4

DN100CF

17

Ø 8 6

G

A Orificio de refuerzo (brida de salida) D Válvula de ventilación

B Orificio de purga E Conector de agua de enfriamiento

(se muestra con adaptador instalado) F Espacio para el conector de cable de ángulo recto

C Conector de suministro eléctrico G Punto de conexión a tierra




P

BOMBA TURBOMOLECULAR EXT250M

BombaturbomolecularEXT250M

DATOS TÉCNICOS

A Orificio de refuerzo (brida de salida) D Válvula de ventilación

B Orificio de purga E Conector de agua de enfriamiento

(se muestra con adaptador instalado) F Espacio para el conector de cable de ángulo recto

C Conector de suministro eléctrico

El EXT250M se suministra en un conjunto, junto con un controladorEXC300M y un cable de la bomba al controlador.

Brida de entrada DN100ISO-K o DN100CFBrida de salida DN25NWOrificio de ventilación !/8 pulg. BSP hembraOrificio de purga !/8 pulg. BSP hembra

Velocidad de bombeo1

N2 240 l s-1

He 250 l s-1

H2 190 l s-1


He 2 × 104

H2 1500Presión final (mbar)2 <5 × 10-9 (ISO-K) o <5 × 10-10 (CF)Bomba de refuerzo recomendada‡ RV5Presión máxima de entrada continua4

EXC300M, enfriamiento poragua a 15 °C 3 × 10-1 mbarenfriamiento por aire a 35 °C 3 × 10-2 mbar

Velocidad de rotación nominal 60000 rpm

Velocidad de rotación en espera 42000 rpmTiempo de arranque al 90% de velocidad 90 sTiempo de frenado

con ventilación 1 min.sin ventilación5 11 min.

Método de enfriamiento Convección libre o aireforzado o agua

Temperatura máxima de la brida de entrada 100 °CRango de operación de temperatura ambiente

con enfriamiento por convección libre 0 – 35 °Ccon enfriamiento por aire forzado 0 – 40 °C


Orientación de operación Cualquier orientación

Peso de la entrada DN100ISO-K 8,5 Kg.Peso de la entrada DN100CF 11 Kg.Nivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador EXC300MPotencia quiescente 15 W




3 Una bomba de refuerzo más grande puede ser necesaria para el máximo rendimiento.

4 Superada esta presión, la velocidad de rotación cae por debajo de la nominal.

5 El tiempo de frenado sin ventilación se reducirá si el controlador EXC300M brinda el suministro

eléctrico para un enfriador por aire o válvula de ventilación.

EXT250M con bridas de entrada DN100F y DN100ISO-K



Bomba EXT250M, controlador EXC300M y cable

DN100ISO-K - brida, cable de 1 m B73521010



DN100CF - brida, cable de 1 m B73522010



DN100ISO-K

91

Ø 1 1 7

B

NW25

NW10

A

0 . 8

45

B

A

.

1 2 5

Ø130

F = 141

20

4 x M6 x 7

Ø152

30

E

7

3 7 . 5

Ø130.2

Ø152

C

D

1 4 5

9 4

16 x Ø8.4

DN100CF

30

2 1 2 . 8

˚

˚ ˚

˚






DATOS TÉCNICOSBrida de entrada principal DN160ISO-K /

DN160CFBrida de salida DN25NWOrificio entre etapas (Variantes Hi) DN25NWOrificio de ventilación 1/8 pulg. BSPOrificio de purga 1/8 pulg. BSPVelocidad de bombeo de entrada*

N2 540 l s-1

He 580 l s-1

H2 500 l s-1

Ar 510 l s-1

Velocidad de bombeo entre etapas (Variantes Hi)N2 8 l s-1

He 6 l s-1

H2 8 l s-1Relación de compresión

N2 >1010

He 108

H2 106

Ar >1010

Presión final (variante CF) <10-10 mbarBomba de refuerzo recomendada RV12Presión máxima de entrada continua (N2, He, H2)**

enfriado por aire forzado, temp. ambiente a 30 °C 1x10-3 mbarenfriado por aire forzado, temp. ambiente a 35 °C 5x10-4 mbarenfriamiento por agua a 15 °C 2x10-3 mbar

Velocidad de rotación nominal 50000 rpmTiempo de arranque al 90% de velocidad

EXC250 5 min.EXC300 6,5 min.EXDC160 8 min.

Método de enfriamiento aire forzado / aguaTemperatura ambiente para enfriamientopor aire forzado

0 °C – 35 °C

Velocidad del flujo de agua de enfriamientorecomendada (agua a 15 °C) 15 l h-1

Temperatura del agua 10 – 20 °CTemperatura máxima de la brida de entrada 80 °CNivel de ruido a 1m <60 dBACampo magnético máximo (camisas estándar)

Axial < 7 mTRadial < 3 mT

Campo magnético máximo (camisas martensíticas)Axial < 50 mTRadial < 50 mT

EXT255H con brida de entrada DN160ISO-K

Controladores recomendados EXC250, EXC300Consumo de potencia quiescente 35 W

* Medido sin criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran instaladas y reducen la velocidad

hasta un 20%

** Con una presión de refuerzo de < 0,3 mbar. Superada esta presión de entrada, la velocidad de

rotación desciende.




EXT555H DN160ISO-K B77701000EXT555H DN160CF B77702000

EXT555Hi DN160ISO-K (exhibido) B77705000

Camisa martensítica

EXT555HF DN160ISO-K B77707000

EXT555HF DN160CF B77708000


Para una operación segura y confiable, el EXT555H requiere uno de los siguientes accesoriosexternos de enfriamiento.

ACX555 Accesorio para enfriamiento por aire B58053561

WCX555 Accesorio para enfriamiento por agua B58067003

8

22.5

Ø 1 6 8

45

G

Ø210

20 x Ø8.4

2 5 4 . 1

18

Ø202.4

E

DN160CF

Ø180

4 x M8 x 25

45

2 9

C

3 9

1 2 7 . 6

Ø180

D

A

B

DN160ISO-K

2 4 8 . 1

A Orificio de escape E Punto de conexión a tierra

B Orificio entre etapas F Espacio para el conector de cable de ángulo recto

C Conector de suministro eléctrico G Punto de purga

D Orificio de ventilación




P

GRÁFICOS DE DESEMPEÑO DE LABOMBA EXT

Gráficos de desempeñode labombaEXT

Velocidad de bombeo (velocidad de bombeo vs. presión de entrada) Rendimiento (rendimiento vs. presión de entrada)

l s - 1

EXT70/70H/75DX

-610

200

100

0

400

300

-4-510 10

600

500

10-3

10

EXT250M/255H/255DX

-210

0-110

HeEXT555H

10-4

10-3

10 10-2 -1

10100 1

102

mbar

Pa

EXT250M/255H/255DX

- 1

l s

400

-60

100

10

200

300

EXT70/70H/75DX

-5

10 10

-4

500

600

1010

-3

10

-2 -1

10

0

2HEXT555H

10 -3-4

10 -2

10 10-1 0

10 1

10 2

10

mbar

Pa

EXT250M/255H/255DX

- 1

l s

EXT70/70H/75DX

0-6

10

100

200

300

400

-510 10

-4

500

600

1010-3

10-2 -1

100

2NEXT555H

10-4

10-3

10-2

1010-1 0

101

102

mbar

Pa

Nitrógeno

Helio

Hidrógeno

1010

10

10

10

- 1

m b a r l s

10-4 -3

10

10

10

EXT555H

EXT70/70H/75DX

1010-2 -1 0

EXT250M/255H/255DX

-3

-2

-1

0

1

2

He

1010-2

10-1 0

101

102

mbar

Pa

Helio

1010

-4

m b a r l s - 1

10

-3

EXT555H

EXT70/70H/75DX

-2

10

-1 0

10

EXT250M/255H/255DX

10

10

10

10

10

10

-3

-2

-1

0

1

2

2N

10-2

10-1

100

101

102

mbar

Pa

Nitrógeno

10

1010

100

EXT70

10-3 -2

10

110

102

10

3

C R

4

H2

2H

EXT70H

10-1 0

101

He

7

6

5

10

10

108

109

He

N2

N2

10 10-1 0

10101 2

103

mbar

Pa

C R

10

0

EXT555H

10

100

-310

-1-210 10

10

101

102

10

3

4

110

7

610

5

10

108

109

H2

He

N2 Compression >10* 12

10-1 0

10 1

10 102

103

mbar

Pa

10He

EXT250M

10-3

10

0

10

10

101

2

10 C R

3H

4

-210

-110

EXT255H/EXT255DX

010

110

2 2H

710

106

5

10

108

9

N2

N2

He

10-1 0

10 101

102

103

mbar

Pa

EXT75DX

N Compression >102

12*

10

1010

100

10-3 -2

10

110

102

10

3

C R

4

10-1 0

101

7

6

5

10

10

108

109

10 10-1 0

10101 2

103

mbar

Pa

H2

He

Relación de compresión (relación de compresión vs. presión de refuerzo)




CONTROLADORES EXC

Controladores parabombas turbomolecularesControladores EXC

Controladores EXC100E, EXC100L, EXC120, EXC300M y EXC300

Familia de controladores EXCNuestros controladores de accionamiento electrónicos EXC brindan potenciay control para las bombas y accesorios EXT. Existen siete controladoresEXC100E, EXC100L, EXC250E, EXC250L, EXC120, EXC300 y EXC300M.Todos estos controladores, con excepción del EXC300M, son compatiblescon nuestras bombas turbomoleculares EXT de 80 V c.c. con motores de c.c.

sin escobillas. El EXC300M es compatible con nuestra bomba de cojinetesmagnéticos, la EXT250M.

El EXC120, con una potencia de salida máxima de 120W, cubre la mayoría delas aplicaciones de bombeo. El EXC300 es una versión de gran potencia delEXC120 y hará funcionar las bombas EXT a la máxima velocidad y mantendráel desempeño del bombeo a mayores presiones de entrada.

Las familias de controladores EXC100 y EXC250 no tienen controles en elpanel frontal y están diseñados para usarse sólo con control remoto. ElEXC100E y EXC250E tienen un conector externo para usar con los cables dela bomba al controlador de 1M, 3M y 5M mencionados en la lista de accesoriosEXT. El EXC100L y EXC250L están equipados con un cable integral de labomba al controlador de 1M.

Controles e indicadores en el panel frontalCon la excepción de las familias EXC100 y EXC250, todos los controladores

tienen los siguientes controles e indicadores en sus paneles frontales.• Start/Stop – para encender y apagar la bomba• Standby – para poner la bomba en modo de espera, al 70% de su velocidad

máxima• Heater – para encender y apagar la banda de desecado• LED indicador de fallas – se enciende cuando la bomba turbomolecular se

dispara debido a un exceso de temperatura o una sobrecarga• LED indicador de suministro eléctrico – se enciende cuando el EXC está

encendido• Gráfico de barras indicador de velocidad – tiene una pantalla de cuatro

segmentos para mostrar cuando la bomba turbomolecular ha alcanzado el25%, 50% y 75% de la velocidad nominal

Conexiones en el panel traseroTodos los controladores EXC cuentan con conectores en sus panelestraseros para interfaz lógica (para control remoto), enfriador por aire, válvulade ventilación e indicadores de vacío Active. Además, el EXC120, EXC300 yEXC300M tienen conectores para el suministro eléctrico de la banda dedesecado y la conmutación del suministro eléctrico de la bomba rotativa.Las características de la interfaz lógica son:• Control remoto del encendido, apagado y espera• Interruptores de enclavamiento del sistema de vacío para impedir la

operación incorrecta de la bomba turbomolecular• Reportes de condiciones normales y de falla• 0-5 V c.c. de salida analógica proporcional a la velocidad de la bomba

turbomolecular (0 – 10 V c.c. para las familias EXC100 y EXC250)

Los suministros eléctricos del enfriador por aire y la válvula de ventilaciónmanual son salidas de 24 V c.c. las cuales son adecuadas para utilizar con losaccesorios EXT de BOC Edwards. El conector del indicador Active esadecuado para utilizar con los cabezales indicadores de vacío Active deBOC Edwards, lo que permite enclavar el funcionamiento del cabezal delindicador y de la bomba turbomolecular.

Características y ventajas• Los controladores pueden accionar bombas diferentes (con excepción del

EXC300M, el cual está dedicado a la bomba EXT250M).• Suministros eléctricos de modalidad computada que se ajustan

automáticamente a cualquier suministro eléctrico.• Compatibilidad electromagnética que excede los requerimientos de las

normas europeas genéricas de inmunidad y emisiones.• Suministro de energía regenerativo el cual brinda opciones de control

para la válvula de ventilación.• Tomas en el panel trasero para la válvula de ventilación, el enfriador por

aire y el indicador de vacío Active.• Control remoto total.• Espera y control de la banda de desecado desde el panel frontal (con

excepción del EXC100E, EXC100L, EXC250E y EXC250L).• Configuración de la velocidad "normal" y el intervalo de retardo

configurable por el usuario.• 0 – 5 V c.c. de salida analógica proporcional a la velocidad de rotación de

la bomba turbomolecular (0 – 10 V c.c. para el EXC100E y EXC100L).

CARACTERÍSTICA EXC100E/L EXC250E/L EXC120 EXC300 EXC300M

Funciones de control disponibles:Control manual ● ● ●

Control remoto ● ● ● ● ●

Espera ● ● ● ● ●

Interruptor de la banda dedesecado en el panel frontal

● ● ●

Relé de conmutación de la

bomba rotativa

● ● ●

Contador de horas ●

Funciones de visualización disponibles:Suministro eléctrico ● ● ●

Velocidad (gráfico de barrasde 4 segmentos)

● ● ●

Bomba encendida ● ● ●

Bomba esperandoenclavamiento

● ● ●

Falla de la bomba ● ●

Emergencia axial de la bomba ●

Espera encendida ● ● ●

Banda de desecado encendida(bombeo normal)

● ● ●

Bombas turbomoleculares compatibles:EXT70, EXT70H ● ●

EXT255H ● ● ● ●

EXT250M ●

Serie EXT555H ● ●

Conexión directa posible para:Enfriador por aire ACX ● ● ● ● ●

Válvula de ventilación TAV ● ● ● ● ●

Banda de desecado BX ● ● ●

Conmutación de la bombarotativa

● ● ●

Indicador Active ● ● ● ● ●

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSEl controlador EXC300M se suministra en conjunto con una bomba EXT250M y un cable dela bomba al controlador: para información sobre pedidos, consulte la página 5-9.


EXC100E D39620000

EXC100L D39622000

EXC250E D39635000

EXC250L D39636000

EXC120 D39616000

EXC300 D39614000

Cables de suministro eléctrico

Sin enchufe, 2 m D40013020

Enchufe RU, 2 m D40013025

Enchufe EE.UU., 2 m D40013120Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030




P

DATOS TÉCNICOS

EXC100E/L EXC250E/L EXC120 EXC300 EXC300M

Tensión del suministro eléctrico (V) 90 – 264 90 – 264 90 – 264 90 – 132 90 – 132y 180 – 264 y 180 – 264

Frecuencia del suministro eléctrico (Hz) 47 – 63 47 – 63 47 – 63 47 – 63 47 – 63Máxima potencia de entrada (VA)

Incluyendo la banda de desecado – – 410 700 700Sin la banda de desecado 260 440 260 550 550

Máxima potencia de salida (W) 1003 250 110 290 290Rango de temperatura ambiente (°C) 0 – 40 0 – 40 0 – 40 0 – 40 0 – 40Capacidad de protección del alojamiento IP20 IP20 IP20 IP20 IP20Emisiones electromagnéticas EN61326 clase B EN61326 clase B EN61326 clase B EN61326 clase B EN61326 clase BInmunidad electromagnética EN61326 EN61326 EN61326 EN61326 EN61326Capacidad de contacto de la bomba rotativa1

Corriente máxima (A) – – 15 15 15Tensión máxima (V c.a.) – – 250 250 250

Peso (Kg.) 0,9 2,0 2,0 4,6 4,6Puntos de control

Rango del intervalo de retardo al <50% de velocidad (min.) 1 – 30 1 – 30 1 – 30 1 – 30 1 – 30Intervalo de retardo fijado en la fábrica(incremento de velocidad) (min.)

8 8 8 8 8

Valor de fábrica del intervalo de retardo en caso dedescenso de la velocidad (opción S/N)

no no no no no

Rango de punto de control de velocidad normal (%)2 65 – 95 65 – 95 65 – 95 65 – 95 65 – 95Velocidad normal de fábrica (%)3 80 80 80 80 80

Opciones de ventilación, valores de fábricaVentilación en el apagado del controlador, al 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidadVentilación ante una falla del suministro eléctrico, al 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidadVentilación ante una falla de la bomba, al 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidadVentilación ante una emergencia axial – – – – 2 s

Opciones de ventilación, opciones alternativas seleccionablesVentilación en el apagado del controlador, después de 2 s 2 s 2 s 2 s 2 sVentilación ante una falla de la bomba, después de 2 s 2 s 2 s 2 s 2 sVentilación ante una emergencia axial – – – – Sin ventilación

1 Carga inductiva con factor de potencia de 0. 2 % de la velocidad de rotación nominal de la bomba. 3 Bomba de 80 W + accesorios de 20 W

5 2

1 5

115.5 F

EXC100E/L

F

A

6.85

M3

227.35

F

261.2

8 8 . 9C

75

1 3 . 4

1 5

G

E

1 . 6

1 2 2 . 5

213

198.1

A

1 3 2 . 5

Ø3.5

3 296

B

208.8

198.1

1 5

75

5.35

C

F

D

1 2 2 . 5

1 1 2 . 7

4 . 9

Ø3.5

EXC300/EXC300M

EXC250E/L

7.6 246.65

261

M3

115

75

1.6

15

100 88.9

13

15F

F

F

F

F

C

E

G

A

A Panel frontal

B Vista superior

C Espacio para el doblez del cable

D Disyuntor del panel

E Vista lateral

F Espacio para ventilación

G Placa adaptadora opcional, para instalar

el EXC100E en lugar del EXC120E

142127 Ø3.5

3 246

1 3 2 . 5

1 2 2 . 5

A

B

137.7

75

5.35127

1 5

C

F

D 1 2 2 . 5

1 1 2 . 7

Ø3.5 4 . 9

EXC120




CONTROLADOR DE BOMBASTURBOMOLECULARES E INSTRUMENTOS TIC

Controladorde bombas turbomoleculares e instrumentos TIC

Un controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos compacto conuna pantalla para gráficos grande y clara, una interfaz del usuario intuitiva y unainterfaz de comunicaciones serial que brindan control remoto total yfunciones de inscripción de datos por medio de un nuevo programa de PCbasado en WindowsTM.

El controlador reconoce automáticamente y soporta hasta tres indicadores dela familia BOC Edwards (con excepción de IGC y Barocels), y una bombaturbomolecular de 24 V de la familia EXT. El soporte para el enfriamiento y laválvula de ventilación se brinda directamente desde el controlador. Se brindacontrol para bombas de refuerzo para una bomba de diafragma compacta de24 V (en versiones de 200 W solamente), o donde se requiera mayoresvelocidades de bombeo, las bombas de refuerzo de red principal (hastaE2M28) pueden controlarse por medio de una caja de relés opcional. La cajade relés también controla la banda calentadora de la red principal y la válvulade aislamiento de la línea de refuerzo y puede incluir tres relés de transferenciade 250 V c.c. y 3 A, los cuales son activados por las salidas de valorpredeterminado del indicador de apertura del colector.Los manómetros de alta presión pueden utilizarse para iniciar bombasturbomoleculares y manómetros de baja presión; alternativamente, losretardos de tiempo y señales normales pueden utilizarse para controlareventos como el arranque de bombas turbomoleculares e instrumentos.Existe una amplia selección de características de enclavamiento para mayorprotección y seguridad.El controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC puedemontarse en un bastidor o banco y brinda un medio útil para la operaciónflexible de una amplia variedad de configuraciones de sistemas de vacío.

Características y ventajasControlador universal de bombas turbomoleculares einstrumentos• El TIC reconoce automáticamente y controla hasta tres indicadores

Active y una bomba turbomolecular de 24 V de las familias DX o EXDC.La versión de 200 W brinda suficiente potencia para asegurar el

desempeño óptimo de las bombas turbomoleculares 255 de mayortamaño. Las bombas turbomoleculares DX tienen una comunicación totalpor puerto serial con el TIC y ambos pueden configurarse y reportar suestado por medio del TIC.

Soporte para bombas de refuerzo• Tanto las bombas de refuerzo conectadas a la red principal como las de

24 V pueden controlarse con el TIC. La versión de 200 W soporta lanueva bomba seca de diafragma XDD1. Para sistemas de vacío másgrandes, tanto la versión de 100 W como la de 200 W pueden controlarbombas de refuerzo conectadas a la red principal incluyendo la XDS10 yhasta la RV12, por medio de una caja de relés opcional.

Opciones de relé• Tres cajas de relés opcionales están disponibles para usar con el TIC.

Entre ellas se incluye una versión con tres relés de transferencia de 250 Vy 3 A, activados por las salidas de punto de control de apertura del

colector internas del TIC. Otra versión controla una bomba de refuerzoconectada a la red principal, la banda de calentador de la bomba

turbomolecular y la válvula de aislamiento de la línea de refuerzo. Laúltima caja de relés combina estas características para brindar relés detransferencia de 250 V, bomba de refuerzo y controles auxiliares.

• Todas las cajas de relés incluyen un equipo de derivación lógica para unamayor integración del sistema.

Configuración de un sistema simple• En la mayoría de las instancias, los sistemas TIC pueden configurarse de

manera sencilla y rápida mediante el uso de la gran variedad de cablesestándar en oferta, por lo tanto, no hay necesidad de que el clienteprepare conjuntos de cables o cajas de relés e interfaces especiales.

Lectura de presión directa• TIC incluye tablas de búsqueda para una variedad de gases de proceso que

se encuentran comúnmente (N2, He, Ar, CO2, Kr & Ne). La selección delgas apropiado permite una lectura directa de la presión correcta sinnecesidad de aplicar factores de conversión.

Instrumento compacto• TIC se presenta en un gabinete compacto y puede montarse en un panel

o en un bastidor (bastidor 3U de ¼ 19"). Con la adición de un marco, setransforma en un atractivo instrumento para montar en un banco.

Interfaz gráfica del usuario clara y fácil de usar • La gran pantalla LCD retroiluminada de 128 x 64 píxeles y el sistema de

menús similar al de un teléfono celular simplifica la programación y unaelección de pantallas de resumen asegura la excelente visibilidad de losparámetros en pantalla.

Suministro eléctrico universal• TIC operará con suministros de la red con una tensión que oscila entre

90 y 264 V c.a., y frecuencias entre 47 y 63 Hz. No se requiere la

intervención del usuario.Comunicaciones por puerto serial• Para permitir una integración completa a los procedimientos controlados

por PC y PLC, todas las variantes del TIC incluyen interfaces RS232 yRS485 como estándar.

WindowsTM Programa para PC• TIC se suministra con un nuevo programa para PC con WindowsTM que

permite una configuración y control totales desde una PC mediante lainterfaz RS232.

Actualizaciones de software• A medida que se lanzan nuevos productos compatibles, el software del

TIC puede actualizarse de manera sencilla mediante el utilitario especialsuministrado con el programa de PC para WindowsTM.

Las actualizaciones de software del TIC estarán disponibles por medio de

correo electrónico e Internet.

DATOS TÉCNICOS

* La velocidad de la rampa está limitada por el uso de la bomba EXDC80

** Cuando está configurada para un arranque a baja potencia

BOMBA TURBOMOLECULAR 24 V

OPCIONES DE BOMBATURBOMOLECULAR

VARIANTE TIC

100 W 200 W

EXT75DX Rápida RápidaEXT70H y EXDC80 Rápida RápidaEXT255H y EXDC80* Lenta Lenta

EXT255H y EXDC160 N/D RápidaEXT255DX Lenta** Rápida

Interfaz lógica El conector de la interfaz lógica incluye lasfunciones mencionadas a continuación.Puede utilizarse para conectarse a relés delsistema, un sistema de control de nivelsuperior o una caja de relés opcional. Alutilizar el conector pasante de la caja de relés,puede utilizarse una combinación de unsistema de control superior y una caja de relés.

Entradas de controlArranque/parada de la bombaturbomolecular*

Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c

Espera de la bombaturbomolecular


Activación deindicadores 1, 2, 3


Arranque/parada de labomba de refuerzo* Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c




P

Opciones de montaje en banco o bastidor(Sub bastidor 3 U de 1/4 19")

Interfaces externas

Pantalla: LCD para gráficos retroiluminada de 128 x 64 píxeles

Las funciones de control en el teclado del panel frontal incluyen:

Botón Desplazar hacia arriba

Botón Desplazar hacia abajo

Botón Enter/Seleccionar

Botón Menú/Volver

Botón Ciclar

Interruptor de enclavamientodel sistema SYSI


Salidas de controlControl de la válvula deventilación

O/C 24 V c.c. 100 mA

Control de la bandacalentadora

O/C 24 V c.c. 50 mA

Control de la bombade refuerzo

O/C 24 V c.c. 100 mA

Enfriador por aire O/C 24 V c.c. 200 mASalidas de estado

Salida analógica 0 – 10 V c.c

Punto de control A, B, C O/C 24 V c.c. 50 mAVelocidad normal de la bombaturbomolecular

O/C 24 V c.c. 50 mA

Alarma O/C 24 V c.c. 50m AInterfaz serial TIC tiene dos protocolos de comunicaciones

incorporados, RS232 y RS485.Éstos pueden utilizarse para conectarse a unaPLC o a una PC mediante el uso del paquetede software de WindowsTM PC suministradopara un monitoreo y control totales de unsistema TIC.

* Los comandos arranque/parada son del tipo "edge triggered".

INSTRUMENTOSDEL CONTROLADOR

DE BOMBASTURBOMOLECULARES

TIC 100 W RS232



TIC 200 W RS232

Entrada de la redSuministro eléctrico 90 a 264 V c.a. 47 a 63 HzConsumo de energía(máx)

215 VA 350 VA

Máxima corriente deirrupción

10,3 A a 110 V c.a.23,0 A a 230 V c.a.

Fusible TIC cuenta con protección propia y no contienefusibles que puedan ser reemplazados por el usuario.

La unidad se recuperará cuando se elimine lasobrecarga.

Perno de tierra M4

Terminales auxiliaresVentilador de enfriamiento por aire 24 V c.c. 3 W máx, ACX70, ACX75 y

ACX250HVálvula de ventilación 24 V c.c. 2 W máx, TYAV5 y TAV6

Cables de interfaz Utilice los cables que se especifican en la"información sobre pedidos"

DimensionesAlojamiento del sistema electrónico 110 mm de alto x 105 mm de ancho x

245 mm de profundidadPanel frontal 106 mm de ancho x 128 mm de alto

PesoControlador de bombasturbomoleculares e instrumentosde 100 W RS232

2,75 kg

Controlador de bombas

turbomoleculares e instrumentosde 200 W RS232 3,5 kg

Temperatura de operación +0 ° a +40 °CTemperatura de almacenamiento -30 ° a +70 °CHumedad ambiente de operación máxima 90% RH sin condensación a 40 °CMáxima altitud operativa 3000 mDiseño electrónico EN 61010-1Compatibilidad electromagnética EN 61326 Ubicación industrial,

Emisiones clase BCapacidad del alojamiento IP20

BOC EDWARDS

BOC EDW ARDS




1 Entradas de los indicadores FCC68 (RJ45)

2 Interfaz lógica Toma D de 25 clavijas

3 Bomba de refuerzo de 24 V Toma 'D' de 15 clavijas *

4 Bomba turbomolecular de 24 V Toma 'D' de 15 clavijas *

5 RS232/485 Toma 'D' de 9 clavijas6 Perno de tierra M4

7 Entrada de la red eléctrica Enchufe CEE/IEC 320

8 Interruptor de encendido/apagado de la red eléctrica

9 Terminales auxiliares de la válvula de ventilación y el

ventilador (suminist ro de 24 V) Terminal de 4 clavijas con tornillos

* Disponible en versiones de 200 W solamente

Interfaz de la pantalla

El software del TIC está estructurado en una serie de pantallas fácilmenteaccesibles, similares a las de un teléfono celular.

TIC reconoce automáticamente qué indicadores y bombas turbomolecularesestán conectados y muestra la información apropiada en la pantalla deresumen por defecto. Mediante desplazamientos y selecciones se accede alcontrol y a los menús de configuración para ese componente.

La velocidad de la bomba turbomolecular se muestra como una proporciónde la velocidad máxima mediante un gráfico de barras. "Norm" indica que labomba turbomolecular ha alcanzado su velocidad normal, mientras que losgalones que apuntan hacia adelante o hacia atrás indican aceleración ydesaceleración.Se muestra el estado de la bomba, el cual combinado con las salidas de losindicadores y el estado de los relés da una clara indicación de lo que estásucediendo en el sistema de vacío.Existe un número de opciones de pantalla para obtener la máxima claridad.Además, pueden aplicarse dos niveles de protección con contraseña,restringiendo o impidiendo de manera efectiva la intervención no autorizada.

En caso de que ocurra un error, el TIC mostrará un cartel de WARNING(advertencia) o uno parpadeante de ALARM (alarma). Una advertencia avisade una condición que se encuentra fuera de los parámetros normales, peroque no requiere acción, pero una alarma debe ser resuelta antes de que pueda

reanudarse el funcionamiento normal.Las unidades de la pantalla pueden estar en mbar, Torr, Pa o Voltios

Los tres relés de punto de control, que son resaltados cuando se activan,pueden estar conectados a cualquier indicador.

Entradas de los indicadoresLas variantes del TIC con soporte de instrumentos reconocen y controlan lossiguientes indicadores:

APG, APGX, ATC, ASG, AIM, WRG y AIGX*

* No más de un indicador AIGX puede estar conectado al TIC por vez.

Bomba de refuerzo de 24 V(Para obtener información sobre el soporte de la bomba de refuerzoconectada a la red eléctrica, vea a continuación.)

Las variantes del TIC que soportan bombas turbomoleculares de 200 Wreconocen y controlan las siguientes bombas de refuerzo de 24 V:

XDD1

Caja de relés (opcionales)Descripción general Una variedad de cajas de relés han sido desarrolladaspara permitir que el TIC opere tres relés de transferencia (no inductivos) de250 V c.a. y 3 A, bombas de refuerzo conectadas a la red principal y accesorios.

Los relés de transferencia son activados por las salidas de puntos de controldel TIC. El relé de la bomba de refuerzo de la red principal controla una válvulade aislamiento de la línea de refuerzo, de modo que cuando se apaga la bombade refuerzo, la válvula de aislamiento se cierra.

La caja de relés se conecta al TIC por medio de un conector de interfaz lógica,el cual se suministra con un conector de derivación para conectarse con elequipo OEM.

Opciones de caja de relés

Bombas de refuerzo de red principal y accesorios compatibles

Bombas de refuerzo pequeñas: E2M0.7 & 1.5, RV3, 5, 8 & 12, XDS5C y 10C,XDS5 & 10 y ESDP12Banda calentadora: BX70 y BX250

Válvula de aislamiento de la línea de refuerzo: LCPV16EKA y LCPV25EKA

1

2

5

8 67

3

4

9

R e l é s d e

t r a n s f e r e n c i a

( 3 d e 2 5 0 V c . a . y 3 A )

B a n d a c a l e n t a d o r a y

v á l v u l a d e a i s l a m i e n t o

d e l a l í n e a d e

r e f u e r z o .

B o m b a d e r e f u e r z o

p e q u e ñ a

Instrumentos de la caja de relés del TIC ✓

Caja de relés del TIC y bomba de refuerzopequeña

✓ ✓

Instrumentos de la caja de relés del TIC ybomba de refuerzo pequeña

✓ ✓ ✓




P

1 Entrada de la red eléctrica Enchufe CEE/IEC 320 ‡

2 Válvula de aislamiento de la línea de refuerzo Toma DIN de 3 clavijas ‡

3 Relés de transferencia de 250 V y 3 A Enchufe positrónico de 12 clavijas *

4 Interfaz lógica ( del TIC) Toma 'D' de 25 clavijas *‡

5 Equipo de derivación lógica (PC, PLC, etc.) Toma 'D' de 25 clavijas *‡

6 Perno de tierra M4 *‡

7 Fusible de la banda calentadora ‡

8 Banda calentadora Toma CEE/IEC 320 ‡

9 Fusible de la bomba de refuerzo de red eléctrica‡

10 Bomba de refuerzo de red eléctrica Toma CEE/IEC 320 ‡

* Disponible en los instrumentos de la caja de relés del TIC y bomba de refuerzo pequeña‡ Disponible en caja de relés del TIC

Nota: Se muestra la variante combinada de instrumentos y bomba de refuerzo pequeña.

Programam para PC de WindowsTM

TIC se suministra con un software para PC con WindowsTM totalmentefuncional, el cual replica y se agrega a los menús de control del TIC.

El software de PC permite que los sistemas TIC puedan ser configurados,controlados y monitoreados desde una sola PC.También se incluye una útil función de inscripción de datos, la cual guardaparámetros seleccionables por el usuario en un archivo (en formato .csv) parasu posterior análisis utilizando software adecuado..

Las configuraciones del sistema TIC pueden crearse y guardarse para su usoposterior, ahorrando de esa manera tiempo de programación.

El software de PC incluye un utilitario de actualización, el cual permite que elsoftware del TIC pueda actualizarse por medio de la conexión al puerto seriala partir de archivos suministrados electrónicamente.

8

9

7

10

1

6 5

2

4

3




Ejemplos de configuraciones

* Al utilizarse con una bomba XDD1, la bomba turbomolecular debería estar controlada por un indicador

o estar sujeta a una demora en el arranque.

* Para uso con bombas enfriadas por agua solamente.

COMPONENTE NÚMERO DEPEDIDO

DESCRIPCIÓN

A D39722000 Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 200 W RS232*

B D40013025 Cable de red eléctrica RU, 2mC D14701000 WRG-S-NW25

D A74601991 XDD1 - Bomba de diafragma de 24 V c.c.

E B72241000 EXT75DX ISO63

F B58053075 ACX75 - Enfriador por aire

G D39700836 XDD/DX/EXDC - cable de extensión, 2 m

H D39700836 XDD/DX/EXDC - cable de extensión, 2 m (opcional)

J D40001005 Cable de indicador Active, 0,5 m


DESCRIPCIÓN

A D39721000 Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 100 W RS232

B D40013025 Cable de red eléctrica RU, 2m

C D39711805 Caja de relés del TIC y bomba de refuerzo pequeña

D D02372000 APGX-M-NW25 STSTE D04850000 AIGX-S-NW25

F D14701000 WRG-S-NW25

G A65201903 Bomba RV3 monofásica

H B72241000 EXT75DX ISO63

J B58052060 BX70 - Banda calentadora 240 V 60 W*

K B58066010 Tav5 - Válvula de ventilación

L B58053075 ACX75 - Enfriador por aire

M D39700833 Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m

N D39700831 Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 M/F, 2 m

P D39700833 Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m

Q D39700836 XDD/DX/EXDC - cable de extensión, 2 m (opcional)

R D39700834 Cable para interfaz RS232 del TIC, 2 m (opcional)S D40001020 Cable de indicador Active, 2 m

T N/D PC con interfaz RS232 (opcional)

J

C

H

E

F

B

A

G

D

Q

S

T

F

E

S

D

R

H

L

K

J

B

A

C

B

N

P

G

M




P

Ejemplos de configuraciones .


DESCRIPCIÓN

A D39722000 Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 200 W RS232B D40013025 Cable de red eléctrica UK, 2m


D D02371000 APGX-M-NW16 AL

E D04850000 AIGX-S-NW25

F D14701000 WRG-S-NW25

G A72701903 XDS10

H D75301991 EXT255H DN100ISO-K 24 V

J D39646000 EXDC160 24 V

K B58066010 TAV 5 - Válvula de ventilación

L B58053160 ACX250H - Enfriador por aire

M D39700831 Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 M/F, 2 mN D39700833 Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m

P D39700836 XDD/DX/EXDC - cable de extensión, 2 m (opcional)

Q D39700834 Cable de interfaz RS232, 2 m (opcional)

R D40001010 Cable de indicador Active, 1 m

S N/D PC con interfaz RS232 (opcional)

QS

R

F

E

R

D

H

J

L

P

B

A

C

B

N

M

G

K



Controladores (suministrados con manuales y software)

Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 100 W RS232 D39721000

Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 200 W RS232 D39722000

Cajas de relés (suministradas con un conjunto deconectores adecuados)

Instrumentos de la caja de relés del TIC(3 relés de transferencia de 250 V c.a. y 3 A) D39700804

Caja de relés del TIC y bomba de refuerzo pequeña D39711805

Instrumentos de la caja de relés del TIC y bombade refuerzo pequeña D39721806

Cables

Cables de red eléctrica(Suministro del TIC y la caja de relés)

Enchufe para RU, 2 m D40013025

Enchufe para EE.UU., 2 m D40013120

Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030

Cables de red eléctrica(caja de relés para bombas tipo RV y XDS)

Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 m/f, 2 m D39700831Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 m/f, 5 m D39700832

Cables de interfaz

Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m D39700833

Cable para interfaz RS232 del TIC, 2 m D39700834

Cables de extensión para bombas de 24 V(utilícelos con bombas tipo EXDC, DX y XDD1)

XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 1 m D39700835



Cables de indicador Active (incluyen conexionesFCC68 compatibles en ambos extremos)

Cable de indicador Active, 0,5 m D40001005

Cable de indicador Active, 1 m D40001010





Cable de indicador Active de 15 m (24 AWG) D40005150


Cable de indicador Active de 30 m (24 AWG) D40005300



Otros accesorios y productos de soporte

Conjunto de marco frontal para el TIC (repuesto) D39700803




CONTROLADOR DE BOMBASTURBOMOLECULARES TIC

Controladorde bombas turbomoleculares TIC

Un controlador de bombas turbomoleculares compacto con una pantalla paragráficos grande y clara, una interfaz del usuario intuitiva y una interfaz decomunicaciones serial que brindan control remoto total y funciones deinscripción de datos por medio de un nuevo programa de PC basado enWindowsTM.El controlador reconoce automáticamente y soporta una bombaturbomolecular de 24 V de la familia EXT. El soporte para el enfriamiento y laválvula de ventilación se brinda directamente desde el controlador. Se brindacontrol para bombas de refuerzo para una bomba de diafragma compacta de24 V (en versiones de 200 W solamente), o donde se requiera mayoresvelocidades de bombeo, las bombas de refuerzo de la red principal (hastaE2M28) pueden controlarse por medio de una caja de relés opcional. La cajade relés también puede utilizarse para controlar una banda calentadora y unaválvula de aislamiento de la línea de refuerzo.Los retardos de tiempo y señales de velocidad normal pueden utilizarse paracontrolar eventos como el arranque de la bomba turbomolecular y existe unaamplia selección de características de enclavamiento para mayor protección yseguridad.El controlador de bombas turbomoleculares TIC puede montarse en un

bastidor o banco y brinda un medio útil para la operación flexible de una ampliavariedad de configuraciones de sistemas de vacío.

Características y ventajasControlador universal de bombas turbomoleculares einstrumentos• El TIC reconoce automáticamente y controla una bomba turbomolecular

de 24 V de las familias DX o EXDC. La versión de 200 W brinda suficientepotencia para asegurar el desempeño óptimo de las bombas 255 de mayortamaño. Las bombas turbomoleculares DX tienen una comunicación totalpor puerto serial con el TIC y ambos pueden configurarse y reportar suestado por medio del TIC.

Soporte para bombas de refuerzo• Tanto las bombas de refuerzo conectadas a la red principal como las de

24 V pueden controlarse con el TIC. La versión de 200 W soporta lanueva bomba seca de diafragma XDD1. Para sistemas de vacío más

grandes, tanto la versión de 100 W como la de 200 W pueden controlarbombas de refuerzo conectadas a la red principal incluyendo la XDS10 yhasta la RV12, por medio de una caja de relés opcional.

Opciones de relé• La caja de relés externa opcional permite que las bombas de refuerzo de

la red principal puedan ser controladas y también brinda interfaces parauna banda calentadora de la bomba turbomolecular, una válvula deaislamiento para la línea de refuerzo y un equipo de derivación lógica.

• Todas las cajas de relés incluyen un equipo de derivación lógica para unamayor integración del sistema.

Configuración de un sistema simple• En la mayoría de las instancias, los sistemas TIC pueden configurarse de

manera sencilla y rápida mediante el uso de la gran variedad de cablesestándar en oferta, por lo tanto, no hay necesidad de que el clienteprepare conjuntos de cables o cajas de relés e interfaces especiales.

Instrumento compacto• TIC se presenta en un gabinete compacto y puede montarse en un panel

o en un bastidor (bastidor 3U de ¼ 19"). Con la adición de un marco, setransforma en un atractivo instrumento para montar en un banco.

Interfaz gráfica del usuario clara y fácil de usar • La gran pantalla LCD retroiluminada de 128 x 64 píxeles y el sistema de

menús similar al de un teléfono celular simplifica la programación y unaelección de pantallas de resumen asegura la excelente visibilidad de losparámetros en pantalla.

Suministro eléctrico universal• TIC operará con suministros de la red con una tensión que oscila entre

90 y 264 V c.a., y frecuencias entre 47 y 63 Hz. No se requiere laintervención del usuario.

Comunicaciones por puerto serial• Para permitir una integración completa a los procedimientos controlados

por PC y PLC, todas las variantes del TIC incluyen interfaces RS232 yRS485 como estándar.

WindowsTM Programa para PC• TIC se suministra con un nuevo programa para PC con WindowsTM que

permite una configuración y control totales desde una PC mediante lainterfaz RS232.

Actualizaciones de software• A medida que se lanzan nuevos productos compatibles, el software del

TIC puede actualizarse de manera sencilla mediante el utilitario especialsuministrado con el programa de PC para WindowsTM.

• Las actualizaciones de software del TIC estarán disponibles por medio decorreo electrónico e Internet.

DATOS TÉCNICOS

* La velocidad de la rampa está limitada por el uso del EXDC80.

.

BOMBA TURBOMOLECULAR 24 V

OPCIONES DE LA BOMBATURBOMOLECULAR

VARIANTE TIC

100 W 200 W

EXT75DX Rápida Rápida

EXT70H y EXDC80 Rápida RápidaEXT255H y EXDC80* Lenta LentaEXT255H y EXDC160 N/D Rápida

Interfaz lógica El conector de la interfaz lógica incluye lasfunciones mencionadas a continuación.Puede utilizarse para conectarse a relés delsistema, un sistema de control de nivel

superior o una caja de relés opcional. Al utilizarel conector pasante de la caja de relés, puedeutilizarse una combinación de un sistema decontrol superior y una caja de relés.

Entradas de controlArranque/parada de la bombaturbomolecular*


Espera de la bombaturbomolecular


Arranque/parada de la bombade refuerzo*


Interruptor de enclavamientodel sistema SYSI


Salidas de controlControl de la válvula deventilación O/C 24 V c.c. 100 mA

Control de la banda calentadora O/C 24 V c.c. 50 mAControl de la bomba derefuerzo O/C 24 V c.c. 100 mAEnfriador por aire O/C 24 V c.c. 200 mA

Salidas de estadoSalida analógica 0 – 10 V c.cPunto de control A, B, C O/C 24 V c.c. 50 mAVelocidad normal de la bombaturbomolecular/alarma O/C 24 V c.c. 50m A

Interfaz serial TIC tiene dos protocolos de comunicacionesincorporados, RS232 y RS485.Estos pueden utilizarse para conectarse a unaPLC o a una PC mediante el uso del paquete desoftware de WindowsTM PC suministradopara un monitoreo y control totales de un

sistema TIC.* Los comandos arranque/parada son del tipo "edge triggered".




P

Opciones de montaje en banco o bastidor(Sub bastidor 3 U de 1/4 19")

Interfaces externas

Pantalla: LCD para gráficos retroiluminada de 128 x 64 píxeles

Las funciones de control en el teclado del panel frontal incluyen:

Botón Desplazar hacia arriba

Botón Desplazar hacia abajo

Botón Enter/Seleccionar

Botón Menú/Volver

Botón Ciclar



TIC 100 W RS232



TIC 200 W RS232

Entrada de la red

Suministro eléctrico 90 a 264 V c.a. 47 a 63 HzConsumo de energía(máx)

215 VA 350 VA

Máxima corriente deirrupción

10,3 A a 110 V c.a.23,0 A a 230 V c.a.

Fusible TIC cuenta con protección propia y no contienefusibles que puedan ser reemplazados por el usuario.

La unidad se recuperará cuando se elimine lasobrecarga.

Perno de tierra M4

Terminales auxiliaresVentilador de enfriamiento por aire 24 V c.c. 3 W máx, ACX70, ACX75 y

ACX250HVálvula de ventilación 24 V c.c. 2 W máx, TYAV5 y TAV6

Cables de interfaz Utilice los cables que se especifican en la"información sobre pedidos"

DimensionesAlojamiento de electrónica 110 mm de alto x 105 mm de ancho x

245 mm de profundidadPanel frontal 106 mm de ancho x 128 mm de alto

PesoControlador de bombasturbomoleculares TIC 100 WRS232 2,75 kgControlador de bombasturbomoleculares TIC 200 WRS232 3,5 kg

Temperatura de operación +0 ° a +40 °CTemperatura de almacenamiento -30 ° a +70 °CHumedad ambiente de operaciónmáxima 90% RH sin condensación a 40 °CMáxima altitud operativa 3000 mDiseño electrónico EN 61010-1Compatibilidad electromagnética EN 61326 (Ubicación industrial,

Emisiones clase B)Capacidad del alojamiento IP20

BOC EDWARDS

BOC EDW ARDS




1 Bomba de refuerzo de 24 V Toma 'D' de 15 clavijas *

2 Bomba turbomolecular de 24 V Toma 'D' de 15 clavijas *

3 Interfaz lógica Toma D de 25 clavijas

4 RS232/485 Toma 'D' de 9 clavijas5 Perno de tierra M4


7 Interruptor de encendido/apagado de la red eléctrica válvula y ventilador

8 Suministro auxiliar de las terminales de ventilación (24 V) Terminal de 4 clavijas con tornillos

* Disponible en versiones de 200 W solamente

Interfaz de la pantalla

El software del TIC está estructurado en una serie de pantallas fácilmenteaccesibles, similares a las de un teléfono celular.TIC reconoce automáticamente qué bomba turbomolecular está conectada ymuestra la información apropiada en la pantalla de resumen por defecto.Mediante desplazamientos y selecciones se accede al control y a los menús deconfiguración para ese componente.La velocidad de la bomba turbomolecular se muestra como una proporciónde la velocidad máxima mediante un gráfico de barras. "Norm" indica que la

bomba turbomolecular ha alcanzado su velocidad normal, mientras que losgalones que apuntan hacia adelante o hacia atrás indican aceleración ydesaceleración.Dos niveles de protección con contraseña están disponibles, restringiendo oimpidiendo de manera efectiva la intervención no autorizada.Se muestra el estado de la bomba, lo que da una clara indicación de lo que estásucediendo en el sistema de vacío.En caso de que ocurra un error, el TIC mostrará un cartel de WARNING(advertencia) o uno parpadeante de ALARM (alarma). Una advertencia avisade una condición que se encuentra fuera de los parámetros normales, peroque no requiere acción, pero una alarma debe ser resuelta antes de que puedareanudarse la operación normal.Los tres relés de punto de control, que son resaltados cuando se activan,pueden estar conectados a la velocidad de la bomba turbomolecular.

Bomba de refuerzo de 24 V(Para obtener información sobre el soporte de la bomba de refuerzoconectada a la red eléctrica, vea a continuación.)Las variantes del TIC que soportan bombas turbomoleculares de 200 Wreconocen y controlan las siguientes bombas de refuerzo de 24 V:XDD1

Caja de relés (opcionales)Descripción general Una variedad de cajas de relé han sido desarrolladaspara permitir que el TIC opere bombas de refuerzo de red principal yaccesorios.El relé de la bomba de refuerzo de la red principal controla una válvula de

aislamiento de la línea de refuerzo, de modo que cuando se apaga la bomba derefuerzo, la válvula de aislamiento se cierra.La caja de relés se conecta al TIC por medio de un conector de interfaz lógica,el cual se suministra con un conector de derivación para conectarse con elequipo OEM.

Opciones de caja de relés

Bombas de refuerzo de red eléctrica compatibles y accesoriosBombas de refuerzo pequeñas: E2M0.7 & 1.5, RV3, 5, 8 & 12, XDSC5 y 10,XDS5 y 10, ESDP12Banda calentadora: BX70 y BX250Válvula de aislamiento de la línea de refuerzo: LCPV16EKA y LCPV25EKA


2 Válvula de aislamiento de la línea de refuerzo Toma DIN de 3 clavijas

3 Interfaz lógica (del TIC) Toma 'D' de 25 clavijas

4 Equipo de derivación lógica (a PC, PLC etc.) Toma 'D' de 25 clavijas

5 Perno de tierra M4

6 Fusible de la banda calentadora

7 Banda calentadora Toma CEE/IEC 320

8 Fusible de la bomba de refuerzo de red eléctrica

9 Bomba de refuerzo de red eléct rica Toma CEE/IEC 320

4

3

7 6 5

8

1 2

R e l é s d e

t r a n s f e r e n c i a

( 3 d e 2 5 0 V c . a . y 3 A )

B a n d a c a l e n t a d o r a y

v á l v u l a d e a i s l a m i e n t o

d e l a l í n e a d e

r e f u e r z o .

B o m b a d e r e f u e r z o

p e q u e ñ a

Caja de relés del TIC y bomba de refuerzopequeña

✓ ✓

Instrumentos de la caja de relés del TIC ybomba de refuerzo pequeña

✓

ISOLATION

7

8

6

HEATER

BACKING PUMP

F2

F1

9

MAINS IN

1

3 0 V M A X

TICUSER

5 4

L O G I C

I N T E R F A C E

VALVE

2

3




P

Programa para PC de WindowsTM

TIC se suministra con un software para PC con WindowsTM totalmentefuncional, el cual replica y se agrega a los menús de control incorporados delTIC.

El software de PC permite que los sistemas TIC puedan ser configurados,controlados y monitoreados desde una sola PC.También se incluye una útil función de inscripción de datos, la cual guardaparámetros seleccionables por el usuario en un archivo (en formato .csv) parasu posterior análisis utilizando software adecuado.

Las configuraciones del sistema TIC pueden crearse y guardarse para su usoposterior, ahorrando de esa manera tiempo de programación.El software de PC incluye un utilitario de actualización, el cual permite que elsoftware incorporado del TIC pueda actualizarse por medio de la conexión alpuerto serial a partir de archivos suministrados electrónicamente.




Ejemplos de configuraciones

* Al utilizarse una bomba XDD1, la bomba turbomolecular debería estar sujeta a una corta demora.

* Para uso con bombas enfriadas por agua solamente.


DESCRIPCIÓN

A D39712000 Controlador para bombas turbomolecularesTIC 200 W RS232*

B D40013025 Cable de red eléctrica RU, 2mC A74601991 XDD1 -Bomba de diafragma de 24 V c.c.

D B72241000 EXT75DX ISO63

E B58053075 ACX75 Enfriador por aire

F D39700836 XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m

G D39700836 XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m (opcional)


DESCRIPCIÓN

A D39712000 Controlador para bombas turbomolecularesTIC 200 W RS232


C D39711805 Caja de relés del TIC y bomba de refuerzo pequeñaD A74601991 XDD1 -Bomba de diafragma de 24 V c.c.

E B72241000 EXT75DX ISO63

F B58052060 BX70 -Banda calentadora 240 V 60 W*

G B58066010 TAV5 - Válvula de ventilación

H B58053075 ACX75 - Enfriador por aire

J D39700833 Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m

K D39700836 XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m

L D39700836 XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m (opcional)

M D39700834 Cable de interfaz RS232 para el TIC, 2 m (opcional)

N N/D PC con interfaz RS232 (opcional)

G

D

E

A

B

F

C

L

N M

E

H

G

F

B

A

C

J

B

K

D




P

Ejemplos de configuraciones .


DESCRIPCIÓN

A D39711000 Controlador para bombas turbomolecularesTIC 100 W RS232



D A37122919 Bomba E2M1.5 monofásica

E B72221991 EXT70H DN63ISO-K 24 V

F D39645000 EXDC80 24 V

G B58066010 TAV5 - Válvula de ventilación

H B58053075 ACX75 Enfriador por aire

J D39700833 Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m

K D39700836 XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m (opcional)

L D39700834 Cable de interfaz RS232 para el TIC, 2 m (opcional)

M N/D PC con interfaz RS232 (opcional)

J

ML

B

B

A

C

K

H

FE

D

G



Controladores (suministrados con manuales y software)

Controlador de bombas turbomolecu lares TIC 100 W RS232 D39711000

Controlador de bombas turbomolecu lares TIC 200 W RS232 D39712000

Cajas de relés (suministradas con un conjunto de conectoresadecuados)

Bomba de refuerzo pequeña de la caja de relés del TIC D39711805

Cables

Cables de red eléctrica (Suministro del TIC y la caja de relés)

Enchufe para RU, 2 m D40013025

Enchufe para EE.UU., 2 m D40013120

Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030

Cables de red eléctrica (caja de relés para bombas tipo RV y XDS)

Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 m/f, 2 m D39700831

Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 m/f, 5 m D39700832

Cables de interfaz

Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m D39700833

Cable para interfaz RS232 del TIC, 2 m D39700834

Cables de extensión para bombas de 24 V (utilíceloscon bombas tipo EXDC, DX y XDD1)

XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 1 m D39700835XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m D39700836


Otros accesorios y productos de soporte

Conjunto de marco frontal para el TIC (repuesto) D39700803




ACCESORIOS EXTAccesorios EXT

Ofrecemos una familia completa de accesorios y repuestos para las bombasEXT. A continuación encontrará una breve descripción de cada uno de estoscomponentes.

1 Aislador de vibración 7 Restrictor de purga PRX10

2 Banda de desecado BX 8 Enfriador por agua (suministrado con la bomba)

3 Sello de la brida de entrada 9 Enfriador por aire ACX (el diseño varía con la bomba)

(suministrado con la bomba) 10 Adaptador del orificio de ventilación NW10

4 Criba de entrada 11 Válvula de ventilación TAV

(suministrada con la bomba) 12 Orificio de ventilación

5 Bomba EXT (bomba suministrada con válvula de6 Orificio de purga ventilación manual)

(Adaptador NW10 instalado) 13 Posición de la banda de desecado

CABLE DE LA BOMBA AL CONTROLADOR

Un cable de la bomba al controlador debe ser solicitado por separado para lasbombas EXC100E y EXC250E y está disponible en longitudes de 1, 3 y 5 m,para ajustarse a su instalación, (otras longitudes están disponibles a solicitud).

ENFRIADOR POR AIRE ACX

Un enfriador por aire ACX se utiliza para enfriar una bomba EXT cuando unsuministro de agua para enfriamiento adecuado no está disponible o para unabomba EXT en un sistema de bombeo móvil. El enfriador por aire ACX es unconjunto de ventilador eléctrico encerrado y ménsula de sujeción que seinstala fácilmente en los orificios para pernos en la base de la bomba.

El enfriador por aire ACX tiene un motor de 24 V c.c. que puede seralimentado y controlado desde una toma en el panel trasero en el controladorEXC/TIC o bomba DX. Se suministra con 3 m de cable eléctrico.

BANDA DE DESECADO BX

Utilice una banda de desecado BX para incrementar la velocidad dedesgasificación del cuerpo de la bomba para lograr una evacuación más rápiday una menor presión final. Las bandas de desecado sólo se instalan en bombas

con bridas CF y/o diseñadas para utilizarse en sistemas de vacíoultra alto.

Las bandas de desecado están disponibles para su uso con suministroeléctricos de 110-120 o 220-240 V c.a. y pueden ser alimentadas desde unatoma en el panel trasero en el controlador EXC/TIC o la bomba DX. Sesuministra con un cable de 3 m y un conector CE22 adecuado.

RESTRICTOR DE PURGA PRX10

El restrictor de purga PRX10 se utiliza para configurar la velocidad de flujo depurga de gas a la bomba EXT. Todas las bombas EXT (excepto la EXT70 y laEXT70H) cuentan con un orifico de fuga que le permite purgar el motor y lacavidad de los cojinetes con nitrógeno seco u otro gas inerte. Instale unadaptador de orificio de ventilación a las bombas EXT255H o EXT250M paraconvertirla de !/8 pulg BSP a DN10NW, antes de utilizar el PRX10.



Cable de 1 m D39618010

Cable de 3 m D39618030Cable de 5 m D39618050

9

10

11

13

12

8

7

6

5

4

3

2

1

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSDESCRIPCIÓN DELPRODUCTO

PARA INSTALARSE EN LASBOMBAS

NÚMERO DE PEDIDO

ACX75 EXT70, EXT70H, EXT75DX B58053075

ACX250 EXT250M B58053150

ACX250H EXT255H, EXT255DX B58053160

ACX555H EXT555H B58053561


DESCRIPCIÓN DELPRODUCTO

PARA INSTALARSE EN LASBOMBAS

NÚMERO DE PEDIDO

BX70, 110 V, 30 W EXT70, EXT70H, EXT75DX B58052040

BX70, 240 V, 30 W EXT70, EXT70H, EXT75DX B58052060

BX250, 110 V, 60 W EXT255H, EXT255DX,EXT250M

B58052041

BX250, 240 V, 60 W EXT255H, EXT255DX,EXT250M

B58052061

BX501, 110 V, 100 W EXT555H B58052044

BX501, 240 V, 100 W EXT555H B58052064



Restrictor de purga PRX10 B58065001




P

VÁLVULA DE VENTILACIÓN TAV

Las válvulas de ventilación TAV son válvulas controladas por solenoide de 24V c.c. las cuales puede utilizar para ventilar su sistema de vacío con aireatmosférico o nitrógeno seco cuando apaga la bomba EXT Las válvulas sesuministran con un filtro de entrada de bronce sinterizado, un conector demanguera ranurado, 3 m de cable eléctrico y un adaptador DN10NW. Lasválvulas de ventilación pueden ser alimentadas y controladas desde una tomaen el panel trasero del controlador EXC. Puede utilizar su válvula deventilación TAV para reemplazar la válvula de ventilación manual suministradacon la bomba EXT, o adaptarla para instalarla en cualquier otro orificioadecuado de la línea ascendente del sistema de vacío de la bombaturbomolecular. Para obtener más información acerca de la elección de unaválvula de ventilación TAV, consulte la página 5-3.

ADAPTADOR DEL ORIFICIO DEVENTILACIÓN

Este adaptador macho BSP a DN10NW de !/8 pulg puede utilizarse parareemplazar la válvula de ventilación TAV5 o la válvula manual instalada en lasbombas EXT. Permite que el orificio de ventilación roscado de la bomba (y el

orificio de purga roscado en la EXT255H, EXT555H y la EXT250M) puedaconvertirse en una brida DN10NW.El adaptador del orificio de ventilación se suministra con un restrictor de flujoremovible y un anillo "O" para sellar el adaptador a la bomba.

AISLADOR DE VIBRACIÓN

Un aislador de vibración puede instalarse en una brida de entrada de la bombaEXT para reducir la transmisión de la pequeña cantidad de vibración generada

por la bomba en su sistema de vacío. El aislador de vibración tiene dos bridasseparadas por un fuelle flexible de acero inoxidable y un collar exterior degoma antivibración.

El aislador de vibración está diseñado para utilizarse sólo con bombasmontadas verticalmente.

RESTRICTOR DE VENTILACIÓN VRX

Instale un restrictor de ventilación VRX a su bomba EXT si piensa ventilar labomba cuando la velocidad de la misma esté por encima del 50% de lavelocidad de rotación máxima. El restrictor de ventilación restringe lavelocidad del flujo del gas de ventilación que ingresan a la bomba EXT.También puede utilizar el VRX para remplazar el restrictor estándarsuministrado con el restrictor de purga PRX10 para obtener una velocidad depurga diferente. Tome en cuenta que la bomba EXT250M se suministra conun restrictor de ventilación VRX10 instalado en los orificios de ventilación ypurga.Puede instalar el restrictor de ventilación en una válvula de ventilación TAV,en el adaptador del puerto de ventilación o directamente en el orificio deventilación o de purga de las bombas EXT255H y EXT250M.

REPUESTOS EXTCada bomba EXT se suministra con un sello de entrada, criba de entrada yenfriador por agua (con excepción de las bombas DX). Estos componentestambién pueden solicitarse como repuestos.



Válvula de ventilación TAV5 B58066010

Válvula de ventilación TAV6 B58066020



Adaptador del orificio de ventilación B58066011


PARA INSTALARSE EN LA BRIDA DE ENTRADA DE LABOMBA

NÚMERO DE PEDIDO

DN63CF B58101000

DN63ISO-K B58115000

DN100ISO-K B58120000

DN160ISO-K B58125000

DN100CF B58105000DN160CF B58110000

44


RESTRICTOR DEVENTILACIÓN VRX

DIÁMETRO DEL ORIFICIO(MM)

NÚMERO DE PEDIDO

VRX10 0,1 B58066021

VRX20 0,2 B58066022

VRX30 0,3 B58066023

VRX50 0,5 B58066024

VRX70 0,7 B58066025


DESCRIPCIÓN DELPRODUCTO TIPO DE BOMBA

PARA INSTALARSE ENESTE TAMAÑO DEBRIDA DE ENTRADA NÚMERO DE PEDIDO

Sellos de brida de entrada

DN40NW Co-Seal, fluoroelastómero B27158453

DN50NW Co-Seal, fluoroelastómero B27158466

ISO63 Anillo "O", fluoroelastómero B27158170

ISO100 Anillo "O", fluoroelastómero B27158171

ISO160 Co-Seal, fluoroelastómero B27158074

63CF junta de compresión de cobre (paquete de 10) C10007490



ISX criba de entrada

ISX63/4 EXT70, EXT70H DN63ISO-K, DN63CF B58051005

ISX100/6 EXT70, EXT70H,EXT255H, EXT255DX,EXT250M

DN100ISO-K,DN100CF

B58051001

ISDX63/4 EXT75DX DN63ISO-K, DN63CF B72240860

ISHX160/8C EXT555H DN160ISO-K,

DN160CF

B58051007

ISHX160/8F EXT555H DN160ISO-K,DN160CF

B58051008

WCX enfriadorpor agua

WCX250M EXT250M B73501164

WCX500 EXT70, EXT70H,EXT255H, EXT75DX,EXT255DX

B73600121

WCX555H EXT555H B58067003



ESTACIONES DE BOMBEO EXPT 1 Y 2

Accesorios combinados EXPT

Nuestra nueva familia de accesorios de bombeo EXPT brindan mayorflexibilidad con nuestros exitosos controladores de bombas turbomolecularese instrumentos TIC. Una gran selección de bombas de refuerzo yturbomoleculares está disponible en combinación con los controladores TICy accesorios que se adecuan a una amplia variedad de aplicaciones como:• Sistemas UHV• Líneas de haces• Bloqueos de carga (loadlock)• Ciencia de superficie• Física de alta energía

Características y ventajas• Totalmente montadas y listas para usar• Arranque/parada del sistema desde el panel de control• Control tanto de la bomba turbomolecular como de los indicadores*

desde el TIC integrado• Puerto serial de comunicaciones disponible con RS232 y RS485• Opciones de bombeo seco con XDD1, XDS5 y XDS10

Para América del Norte y Brasil, vea las fotografías que aparecen acontinuación. Comuníquese con nuestro Centro nacional de ventas al800-848-9800. Tome en cuenta que estos sistemas de carro sólo estándisponibles en América del Norte y Brasil. Para todos los demás territorios,consulte la información antedicha.

EXPT1 – Placa base con labomba turbomolecular EXT70Hy la bomba de diafragma XDD1con controlador TIC.

EXPT2 – Placa base con labomba turbomolecularEXT255H y la bomba scrollXDS10 con contralador TIC.

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSEsta información se aplica a nuestras bombas turbomoleculares fabricadas en el RU. Parabombas turbomoleculares fabricadas en los EE.UU:, comuníquese con el centro nacional deventas al 1-800-848-9800.

Bomba turbomolecularM EXT70DXN EXT255DXY EXT70HZ EXT255H

Tipo de brida1 DN40NW2 DN63ISO-K

3 DN63CF4 DN100ISO-K5 DN100CF

Bomba de refuerzo1 E2M0.72 E2M1.53 RV34 RV55 RV86 RV12A XDD1B XDS5C XDS10

Montaje1 EXPT12 EXPT2

InstrumentaciónControl de bombas turbomoleculares100 W solamente 1Control de bombas turbomolecularese instrumentos 100 W 2Control de bombas turbomoleculares200 W solamente 3Control de bombas turbomolecularese instrumentos 200 W 4

Accesorios de la bomba de refuerzoNinguno 0Filtro de niebla EMF 1Trampa frontal FL20K 2Castors 31+2 41+3 52+3 61+2+3 7Castors + silenciador 8

Accesorios de la bomba turbomolecular

Ninguno 0Válvula de ventilación TAV5 1Válvula de aislamientode refuerzo LCPVEK 31+3 5

Suministro eléctrico220-240 V 50/60 Hz (Europa) 1110-120 V 50/60 Hz (EE.UU.) 2100 V 50/60 Hz (Japón) 3220-240 V 50/60 Hz (RU) 4

* Los indicadores y cables pueden solicitarse por separado.No todas las combinaciones están permitidas. Consulte con su centro regional de BOC Edwards.Las unidades se suministran con una enfriador por aire integrado.Consulte las instrucciones de operación con su centro regional de BOC Edwards para ver los gasescompatibles.

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bombas turbomoleculares

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