metrología óptica - · pdf filelíneas i+d • metrología...

Metrología Óptica

Ferran Laguarta / Santiago Royo

CD6

Líneas I+DLíneas I+D

• Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica (15 años)

• Monitorización y control del proceso de fabricación de dispositivos hemodinámicos (1 año)

• Medidas de concentración y flujo de gases on-line con TDLAS (3 años)

• Laser Ultrasonics. Aplicaciones NDT en materiales metálicos y compuestos (2 años)

Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica

Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica

TTéécnicas cnicas metrolmetrolóógicasgicas::

BrightBright--fieldfield ImagingImagingConfocalConfocal 3D 3D ProfilingProfilingThickThick Film Film thicknessthickness measurementmeasurement(> 2 (> 2 µµmm))InterferometryInterferometry(PSI & VSI (PSI & VSI profilingprofiling))ThinThin Film Film thicknessthickness measurementmeasurement

Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica

•• Fast switching deviceFast switching device•• FLCoSFLCoS•• Non moving partsNon moving parts•• Unlimited lifetimeUnlimited lifetime

PatentedPatentedTechnologyTechnology

MicrodisplayMicrodisplay--basedbasedconfocalconfocal scanningscanning

Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica

Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica

Datos Sensofar:

• 7 productos• > 250 equipos vendidos en 20 paises• Partnership (Mikropack) y OEM (Leica, Raytex)

2000 2001 2002 2003 2004 2005 2006 2007 2008 2009 2010

Control proceso fabricación de dispositivos hemodinámicos

Stents i “stenting”

Control proceso fabricación de dispositivos hemodinámicos

Corte LáserElectropulidoTratamiento Térmico Recubrimiento Implantación

Verificación geometría

Control calidadImagen 2DProceso NO automatizado(30 min/stent)Cuello botella

Medida concentración y flujo de gases on-line con TDLAS

Medida y control HMedida y control H22 O Mass Flow en equipos liofilizaciO Mass Flow en equipos liofilizacióónn

Laser Ultrasonics. Aplicaciones a NDT en materiales metálicos y compuestos

NDT con Laser Ultrasonics NDT con Laser Ultrasonics

SS

SP

Laser Ultrasonics. Aplicaciones a NDT en materiales metálicos y compuestos

Líneas I+DLíneas I+D

• 3D body scanning

• Cámaras TOF-HD

• Interferometría SMI

• Óptica activa para telescopios robóticos

• Optical testing

3D body scanning3D body scanning

3D body scanning3D body scanningCirugía estética

Cosmética

Probador virtual

Prototipaje

+ non-human

Téxtil técnico

Personalización

Prótesis

Protección

Imagen TOF -HDImagen TOF -HD

Time of flightDirect 3D Imaging

20Kpx

x102

EU patent EP11002231(2011)

2Mpx

x102 x102

Imagen TOF -HDImagen TOF -HD

Audiovisual 3D

Vehículos autoguiados

Visión artificial

Automoción

Interfaz hombre-máquina

Interferometría SMIInterferometría SMI

DIODOLASER

CAMINODE MEDIDA

FOTODIODOMONITOR

Objeto = 9 mm

Compacto

Robusto

Autoalineado

Interferómetro

Sin contacto

Desplazamiento y posicionado

Microfluídica

Flujo sanguíneo no invasivo

Velocidad

Interferometría SMIInterferometría SMI

Pulsos cardiovasculares

Motor monitoring Pulsos nm

UPC- CD6 EU patent EP10380130.4 (2010)

Vibrometría

Caracterización de MEMS

Óptica activa para telescopiosÓptica activa para telescopios

UPC- CD6 patent P20100907 (2010)

Optical testing Optical testing Óptica free-formIngeniería de f.o

UPC- CD6 PCT patent ESP200801034 (2008)

UNIVERSITAT POLITÈCNICA DE CATALUNYACentre de Desenvolupament de Sensors, Instrumentació i Sistemes (CD6)

http://www.cd6.upc.edu